複数検出器顕微鏡検査システム

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：特許業務法人明成国際特許事務所
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-566881
公開番号（公開出願番号）：特表2005-517217
出願日： 2003年02月06日
公開日（公表日）： 2005年06月09日
要約：

【解決手段】高スループットレートで試料(112)を検査できる顕微鏡検査システム(100)が説明される。この検査システムは、1つより多い検出器アレイ(116)および大きい視野を利用して半導体ウェーハの表面をスキャンすることによって高スループットレートを達成する。顕微鏡検査システムは、また、高拡大能力、高開口数、および大きい視野を有する。1つより多い検出器アレイを用いることによって、半導体ウェーハ上のそれぞれのストライプ状スキャンのあいだウェーハのより大きい表面領域が検査されえ、それによりスワスオーバヘッド時間を最小化し、システムをより効率的にできる。顕微鏡検査システムは、より大きい視野を有するよう構成されることによって、複数の検出器アレイが適切に利用されえる。さらに検出器アレイを検査システムの物理的制約の中で収めるために反射および/または屈折表面の特別構成が用いられる。

請求項（抜粋）：

試料を検査する顕微鏡検査装置であって、前記試料の近傍に配置された高倍率および第1端を有する対物レンズ、前記顕微鏡検査装置の視野、および実質的に前記視野内に配置された1つより多い検出器アレイを備える顕微鏡検査装置。

IPC (2件)：

G02B21/00 , G01N21/956

FI (2件)：

G02B21/00 , G01N21/956 A

Fターム (20件)：

2G051AA51 , 2G051AB02 , 2G051AC30 , 2G051BA05 , 2G051BB01 , 2G051BB07 , 2G051BB11 , 2G051BC05 , 2G051CA03 , 2G051CB01 , 2G051CC09 , 2G051CC11 , 2H052AB05 , 2H052AB06 , 2H052AC04 , 2H052AC12 , 2H052AC27 , 2H052AF02 , 2H052AF11 , 2H052AF14

引用特許：

審査官引用 (8件)

特開平2-188711
検査方法およびその装置並びに半導体基板の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-134145 出願人：株式会社日立製作所
共焦点顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-340399 出願人：株式会社東京精密

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