センサおよびセンサの製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：木下實三 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-258715
公開番号（公開出願番号）：特開平11-094673
出願日： 1997年09月24日
公開日（公表日）： 1999年04月09日
要約：

【要約】【課題】小型化、薄型化することのでき、かつ製造効率のよいセンサ及びセンサの製造方法を提供することを目的とする。【解決手段】ダイアフラム121上に歪ゲージ素子を配置して当該ダイアフラム121の物理量を検出して電気信号に変換するセンサチップ12を備えたセンサにおいて、歪ゲージ素子が配置されたダイアフラム12の上面には、バンプ21を介してフレキシブル基板13が設けられ、このフレキシブル基板13には、この電気信号を増幅処理して出力する電子回路23が設けられている。フレキシブル基板13上の電子回路23とダイアフラム121上の歪ゲージ素子とがバンプ21により電気的に接続されているので、薄型化が図られるうえ、ダイボンディングで接続できるので、センサの製造時間の大幅な短縮が可能となる。

請求項（抜粋）：

ダイアフラム上に歪ゲージ素子を配置して当該ダイアフラムの物理量を検出して電気信号に変換するセンサチップを備えたセンサであって、前記歪ゲージ素子が配置されたダイアフラム面には、バンプを介してフレキシブル基板が設けられ、このフレキシブル基板には、前記電気信号を処理する電子回路が設けられていることを特徴とするセンサ。

IPC (2件)：

G01L 19/14 , G01L 9/04 101

FI (2件)：

G01L 19/14 , G01L 9/04 101

引用特許：

審査官引用 (9件)

圧力変換器
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-026686 出願人：株式会社長野計器製作所
半導体圧力センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-141509 出願人：三菱電機株式会社
圧力センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-345394 出願人：イーグル工業株式会社

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