特許

J-GLOBAL ID：200903075053877562

ポジ型感光性樹脂組成物、パターンの製造法及び電子部品

発明者： 佐々木 守 ,  安斎 隆徳 ,  藤枝 永敏
出願人/特許権者： 日立化成デュポンマイクロシステムズ株式会社
代理人 (1件)： 高田 幸彦 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-148562
公開番号（公開出願番号）：特開2001-194791
出願日： 2000年05月19日
公開日（公表日）： 2001年07月19日
要約：

【要約】【課題】本発明は、厚い膜厚でも露光感度が高く、パターンの形状も良好な、耐熱性に優れるポジ型感光性樹脂組成物、パターンの製造法及び信頼性の高い電子部品を提供する。【解決手段】(A)ポリイミド前駆体又はポリオキサゾール前駆体、(B)光により酸を発生する化合物、及び、(C)酸触媒反応によりアルカリ水溶液に対する溶解性が増加する酸分解性基を有する化合物を含有してなるポジ型感光性樹脂組成物、パターンの製造法及び電子部品。

請求項（抜粋）：

(A)ポリイミド前駆体又はポリオキサゾール前駆体、(B)光により酸を発生する化合物、及び、(C)酸触媒反応によりアルカリ水溶液に対する溶解性が増加する酸分解性基を有する化合物を含有してなるポジ型感光性樹脂組成物。

IPC (6件)：

G03F 7/039 601 ,  C08K 5/00 ,  C08L 79/06 ,  C08L 79/08 ,  G03F 7/037 501 ,  H01L 21/027

FI (6件)：

G03F 7/039 601 ,  C08K 5/00 ,  C08L 79/06 ,  C08L 79/08 A ,  G03F 7/037 501 ,  H01L 21/30 502 R

Fターム (46件)：

2H025AA01 ,  2H025AA03 ,  2H025AA10 ,  2H025AB16 ,  2H025AB17 ,  2H025AC01 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BE07 ,  2H025BE10 ,  2H025BG00 ,  2H025CB19 ,  2H025CB25 ,  2H025CB34 ,  2H025CB43 ,  2H025FA12 ,  2H025FA17 ,  2H025FA29 ,  4J002BC042 ,  4J002BC122 ,  4J002BG012 ,  4J002CD052 ,  4J002CL002 ,  4J002CM011 ,  4J002CM021 ,  4J002CM041 ,  4J002EB116 ,  4J002EJ016 ,  4J002EJ036 ,  4J002EJ056 ,  4J002EJ066 ,  4J002EL087 ,  4J002EN076 ,  4J002EQ036 ,  4J002EU186 ,  4J002EU216 ,  4J002EV046 ,  4J002EV216 ,  4J002EV236 ,  4J002EV246 ,  4J002EV296 ,  4J002FD146 ,  4J002FD202 ,  4J002FD207 ,  4J002GP03 ,  4J002HA05

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 透明性樹脂、感光性組成物、およびパターン形成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-272534   出願人：株式会社東芝
• 耐熱性ポジ型フオトレジスト組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-065634   出願人：日東電工株式会社
• 感光性耐熱性樹脂前駆体組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-004120   出願人：東レ株式会社