圧電薄膜共振子およびフィルタ

発明者： , , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (2件)：吉田稔 , 田中達也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-035997
公開番号（公開出願番号）：特開2007-135248
出願日： 2007年02月16日
公開日（公表日）： 2007年05月31日
要約：

【課題】小型化を図るのに適する圧電薄膜共振子、優れた共振特性を有する圧電薄膜共振子、及びこれらにより構成されるフィルタを提供する。【解決手段】例えば本発明のフィルタは、基板110上の積層共振体120と、積層共振体120および基板110により囲まれてなる空隙部110aとを含む圧電薄膜共振子100Aが複数接続されたものである。積層共振体120は、基板110側の第1面およびこれとは反対の第2面を有する圧電膜123と、前記第1面に接する部位を有して空隙部110aに部分的に露出する電極膜121と、前記第2面に接する部位を有する電極膜122とからなる。積層共振体120にて圧電膜123を介して両電極膜121,122が重複する領域は励振部を構成し、励振部は電極膜121側で空隙部110aに露出する。空隙部110aの励振部に接する面積は、空隙部110aの積層共振体120に接する面積より小さい。【選択図】図13

請求項（抜粋）：

基板上に設けられた積層共振体と、当該積層共振体および前記基板により囲まれてなる空隙部と、を含んで構成される圧電薄膜共振子が、複数接続されたフィルタであって、前記積層共振体は、前記基板の側を向く第1面およびこれとは反対の第2面を有する圧電膜と、前記圧電膜の前記第1面の側に接する部位を有し且つ前記空隙部に部分的に露出する第1電極膜と、前記圧電膜の前記第2面の側に接する部位を有する第2電極膜とからなり、前記積層共振体において前記圧電膜を介して前記第1電極膜および前記第2電極膜が重複する領域は、励振部を構成し、当該励振部はその第1電極膜側で前記空隙部に露出し、前記空隙部の前記励振部に接する面積は、前記空隙部の前記積層共振体に接する面積より小さく、前記複数の圧電薄膜共振子のうち少なくとも二つの圧電薄膜共振子は、各々の前記第2電極膜どうしの接続により電気的に接続されている、フィルタ。

IPC (6件)：

H03H 9/54 , H03H 9/17 , H03H 3/02 , H01L 41/09 , H01L 41/187 , H01L 41/22

FI (6件)：

H03H9/54 Z , H03H9/17 F , H03H3/02 C , H01L41/08 C , H01L41/18 101B , H01L41/22 Z

Fターム (21件)：

5J108AA07 , 5J108BB07 , 5J108BB08 , 5J108CC04 , 5J108CC11 , 5J108CC12 , 5J108DD01 , 5J108DD06 , 5J108EE03 , 5J108EE04 , 5J108EE07 , 5J108EE13 , 5J108FF02 , 5J108FF04 , 5J108FF05 , 5J108KK01 , 5J108KK02 , 5J108KK03 , 5J108MM04 , 5J108MM11 , 5J108MM14

引用特許：

出願人引用 (4件)

特開昭60-189307号公報
音響共振器とその製作方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-154956 出願人：ヒューレット・パッカード・カンパニー
米国特許第6060818号明細書

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審査官引用 (9件)

特開昭60-126907
特開昭60-031305
薄膜圧電素子
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-289804 出願人：三菱電機株式会社

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