特許
J-GLOBAL ID：200903075467980284

光導波路及びその製造方法

発明者：
本郷 晃史

本郷 晃史 について

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樫村 誠一

樫村 誠一 について

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大久保 博行

大久保 博行 について

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荒井 英明

荒井 英明 について


出願人/特許権者：
日立電線株式会社

日立電線株式会社 について


代理人 (1件)： 絹谷 信雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-333044
公開番号（公開出願番号）：特開2000-155230
出願日： 1998年11月24日
公開日（公表日）： 2000年06月06日
要約：
【要約】【課題】 過剰損失がなく、コア及びクラッドのGeの含有量が精度よく一致する光導波路及びその製造方法を提供する。【解決手段】 コア領域3とクラッド領域2、4との屈折率差は、コア領域3に添加されるTiの添加量によって任意の大きさに制御される。コア領域3及びクラッド領域2、4に紫外レーザ光を照射することによって、コア領域3及び光信号が拡散するクラッド領域2、4共に周期的な屈折率分布を有するグレーティングが形成され、クラッドモードによる過剰損失を抑制することができる。コア領域3及びクラッド領域2、4の形成に用いるGeを含有するSiO2 ターゲット8-1〜8-4として同一組成のものを用いれば容易にコア領域3とクラッド領域2、4におけるGeの含有量を高精度で一致させることができる。
請求項（抜粋）：
平面基板と、該平面基板上に形成されたコア領域と、該コア領域を覆い該コア領域より相対的に屈折率の低いクラッド領域とを備えた光導波路において、上記コア領域はGe及びTiを含有するSiO2 ガラスからなり、上記クラッド領域は上記コア領域と略添加濃度が等しいGeを含有するSiO2ガラスからなることを特徴とする光導波路。
IPC (3件)：
G02B 6/13 ,  G02B 6/12 ,  G02B 6/122
FI (3件)：
G02B 6/12 M ,  G02B 6/12 N ,  G02B 6/12 A
Fターム (9件)：
2H047KA04 ,  2H047LA03 ,  2H047PA04 ,  2H047PA21 ,  2H047PA24 ,  2H047PA30 ,  2H047QA04 ,  2H047QA07 ,  2H047TA37
引用特許：
審査官引用 (4件)
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