特許
J-GLOBAL ID：200903075562155290
流量検定故障診断装置、流量検定故障診断システム、流量検定故障診断方法及び流量検定故障診断プログラム
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人コスモス特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-280832
公開番号（公開出願番号）：特開2009-109295
出願日： 2007年10月29日
公開日（公表日）： 2009年05月21日
要約：
【課題】流量検定の信頼性を向上させることができる流量検定故障診断装置を提供すること。【解決手段】複数の流量制御機器4A,4B,4Cと、圧力測定手段12が測定した圧力に基づいて前記各流量制御機器4A,4B,4C...の流量を測定し、流量異常を検知する流量検定ユニット10と、を備えるガス供給配管系25に用いられ、前記流量検定ユニット10が流量異常を検知した場合に、前記圧力測定手段12の故障を診断するモードを備える故障診断手段21を有する流量検定故障診断装置8。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
複数の流量制御機器と、圧力測定手段が測定した圧力に基づいて前記各流量制御機器の流量を測定し、流量異常を検知する流量検定ユニットと、を備えるガス供給配管系に用いられ、
前記流量検定ユニットが流量異常を検知した場合に、前記圧力測定手段の故障を診断するモードを備える故障診断手段を有する
ことを特徴とする流量検定故障診断装置。
IPC (3件)：
G01F 25/00
, G01F 1/00
, G01F 1/34
G01F25/00 C
, G01F1/00 T
, G01F1/00 X
, G01F1/34 A
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (8件)
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