特許
J-GLOBAL ID：200903087046451493

流量制御機器絶対流量検定システム

発明者：
高阪 明子

高阪 明子 について

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伊藤 稔

伊藤 稔 について

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森 洋司

森 洋司 について

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土居 広樹

土居 広樹 について


出願人/特許権者：
シーケーディ株式会社

シーケーディ株式会社 について


代理人 (1件)： 特許業務法人コスモス特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-166152
公開番号（公開出願番号）：特開2006-337346
出願日： 2005年06月06日
公開日（公表日）： 2006年12月14日
要約：
【課題】 プロセスガスによって流量制御機器の高精度な絶対流量検定を可能とする【解決手段】 第1遮断弁21及び第2遮断弁22との間のガス流路30と真空ポンプ14の入口とを連通する排気流路31と、排気流路31に設けられた第3遮断弁23、圧力センサ11、温度センサ12、及び第4遮断弁24と、それらと接続し、ガス種固有の圧縮因子データ、及びマスフローコントローラ10の出口と、第2遮断弁22と、第3遮断弁23により形成される所定の空間の容積値を記憶する検定用制御装置と、を有し、第1計測時及び第2計測時における、圧力P1、温度T1、それらに対応する第1圧縮因子Z1、容積V、から質量G1を求め、第2計測時における、圧力P1、温度T2、それらに対応する第2圧縮因子Z2、容積Vから質量G2を求め、質量G1と、質量G2との差により、マスフローコントローラ10の絶対流量を検定する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
流量制御機器の出口とプロセスチャンバの入口とを連通するガス流路に設けられた第1遮断弁及び第2遮断弁とを有する流量制御ユニットにおける前記流量制御機器の絶対流量を検定する流量制御機器絶対流量検定システムにおいて、 前記第1遮断弁及び前記第2遮断弁との間の前記ガス流路と真空ポンプの入口とを連通する排気流路と、 前記排気流路に設けられた第3遮断弁及び第4遮断弁と、 前記第3遮断弁と、前記第4遮断弁との間の前記排気流路に設けられた、圧力センサと温度センサと、 前記圧力センサと前記温度センサとを接続し、ガス種固有の圧縮因子データ、及び前記流量制御機器の出口と、前記第2遮断弁と、前記第4遮断弁により形成される所定の空間の容積値を記憶する検定用制御装置と、を有し、 第1計測時における、前記圧力センサによる第1圧力値と、前記温度センサによる第1温度値とに対応する第1圧縮因子値を前記検定用制御装置の前記圧縮因子データから読み出して、前記第1圧力値、前記第1温度値、前記容積値、及び前記第1圧縮因子値から第1質量を求め、 第2計測時における、前記圧力センサによる第2圧力値と、前記温度センサによる第2温度値とに対応する第2圧縮因子値を前記検定用制御装置の前記圧縮因子データから読み出して、前記第2圧力値、前記第2温度値、前記容積値、及び前記第2圧縮因子値から第2質量を求め、 前記第1質量と、前記第2質量との差により、前記流量制御機器の絶対流量を検定することを特徴とする流量制御機器絶対流量検定システム。
IPC (3件)：
G01F 25/00 ,  G01F 1/00 ,  G01F 15/02
FI (3件)：
G01F25/00 C ,  G01F1/00 W ,  G01F15/02
Fターム (7件)：
2F030CC11 ,  2F030CD15 ,  2F030CD17 ,  2F031AA08 ,  2F031AC05 ,  2F031AC10 ,  2F031AD03
引用特許：
出願人引用 (14件)
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審査官引用 (11件)
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