特許

J-GLOBAL ID：200903075616612790

二次イオン質量分析装置

発明者： 藤原 幸雄 ,  野中 秀彦 ,  齋藤 直昭
出願人/特許権者： 独立行政法人産業技術総合研究所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-300440
公開番号（公開出願番号）：特開2009-128045
出願日： 2007年11月20日
公開日（公表日）： 2009年06月11日
要約：

【課題】SIMSにおいては、分析試料は、真空容器中に搬入され、真空中において分析が行われる。このため、水を含有するバイオメディカル試料等のSIMSにおいては、分析試料中の水分の気化による分析試料の乾燥や凍結が発生し、バイオメディカル試料を「生のまま」分析することが難しく、大きな課題となっている。【解決手段】上記課題を解決するため、本発明では、分析試料を真空雰囲気とする前に、分析試料表面を「イオン液体」により被覆するものである。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

二次イオン質量分析方法において、分析試料を真空雰囲気中に導入する前に、該分析試料表面をイオン液体により被覆することを特徴とする二次イオン質量分析方法。

IPC (1件)：

G01N 23/225

FI (1件)：

G01N23/225

Fターム (7件)：

2G001AA05 ,  2G001BA06 ,  2G001CA05 ,  2G001KA01 ,  2G001LA01 ,  2G001MA02 ,  2G001QA01

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 二次イオン質量分析法及びそれに用いる標準試料の調製方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-326206   出願人：工業技術院長
• 情報取得方法、情報取得装置及び検出方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-197265   出願人：キヤノン株式会社
• 試料表面の検査装置及び方法
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2003-587155   出願人：株式会社荏原製作所
• 電子分光装置及びそれを用いた測定方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-199698   出願人：キヤノン株式会社