試料表面の検査装置及び方法

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：社本一夫 , 田中英夫 , 大塚住江 , 西山文俊
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-587155
公開番号（公開出願番号）：特表2005-523459
出願日： 2003年04月17日
公開日（公表日）： 2005年08月04日
要約：

本発明は、試料の表面を検査するための表面検査方法及び装置を提供する。本発明においては、試料表面が抵抗膜で被膜され、該抵抗膜で被膜された試料表面に荷電粒子線が照射され、これにより、試料表面の検査が行われる。本発明の表面検査方法では、試料の表面に抵抗膜が任意の厚さt1に塗布される。その後、前記塗布された任意の厚さの抵抗膜の一部を溶解して、抵抗膜の厚さを所望の厚さに低減する。これにより、抵抗膜の抵抗値を精密に制御可能になり、検出時の像の歪み等を少なくすることができる。

請求項（抜粋）：

試料の表面に抵抗膜を形成する方法において、該方法は、前記試料をほぼ水平に保持した状態で、前記試料を所定速度で回転させるステップと、前記試料を回転させながら、前記試料の表面上に液状の膜材料を滴下させて抵抗膜を形成するステップと、前記試料を所定速度で回転させながら、前記試料の表面に形成された抵抗膜を溶解する溶剤を滴下させ、前記抵抗膜の一部分を溶解して前記抵抗膜の厚さが所望のレベルとなるようにするステップとからなることを特徴とする方法。

IPC (2件)：

G01N23/225 , H01L21/66

FI (3件)：

G01N23/225 , H01L21/66 J , H01L21/66 P

Fターム (26件)：

2G001AA03 , 2G001BA07 , 2G001CA03 , 2G001GA01 , 2G001GA06 , 2G001GA12 , 2G001KA03 , 2G001LA11 , 2G001MA05 , 2G001RA02 , 2G001RA04 , 2G001RA05 , 2G001RA08 , 2G001RA20 , 4M106AA01 , 4M106AA09 , 4M106BA02 , 4M106BA07 , 4M106BA12 , 4M106BA20 , 4M106CA39 , 4M106CA41 , 4M106DB05 , 4M106DB30 , 4M106DH55 , 4M106DH57

引用特許：

審査官引用 (28件)

特開平1-221637
特開平1-221637
特開平1-320421

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