酸素センサ及び酸素センサの内側電極の形成方法

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：足立勉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-012796
公開番号（公開出願番号）：特開平10-206377
出願日： 1997年01月27日
公開日（公表日）： 1998年08月07日
要約：

【要約】【課題】酸素イオン伝導性固体電解質からなる有底筒状の検出素子を備えた酸素センサにおいて、内側電極の電極剥離を防止し、且つ耐久性を向上する。【解決手段】検出素子Sに内側電極を形成する際には、まず、検出素子Sの開口部を漏斗状弾性体50に圧入して、検出素子Sを漏斗状弾性体50に保持させ、その上方より自金錯体水溶液及び還元剤からなるメッキ液54を注入する。そして、漏斗状弾性体50の上部に通気孔56aが穿設された蓋56をし、熱風循環式加熱炉等の反応炉に入れて、加熱する。この結果、検出素子Sの内壁面には、白金からなる内側電極が形成され、その膜厚は、検出素子Sの先端部側程厚く開口部側程薄くなる。このように形成された検出素子Sは、排気により高温となる先端部の内側電極が厚いので耐久性を向上でき、開口部では、内側電極の検出素子本体への接合強度を確保して、端子の接続時に電極が剥離するのを防止できる。

請求項（抜粋）：

酸素イオン伝導性固体電解質を一端が閉塞し他端が開口した有底筒状に形成してなる検出素子本体の内外表面に、夫々、耐熱性の電極をメッキにより形成してなる検出素子を備えた酸素センサにおいて、前記検出素子本体の内側に形成される内側電極の膜厚を、検出信号取り出し用の端子が接続される前記検出素子の開口部では薄く、前記検出素子の開口部とは反対側の先端部では厚くなるように傾斜させたことを特徴とする酸素センサ。

引用特許：

出願人引用 (5件)

酸素センサ素子の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-334007 出願人：株式会社デンソー
特開昭57-182158
特開昭54-066888

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