反応発光色を用いたドライプロセス監視方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：柏谷昭司 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-016304
公開番号（公開出願番号）：特開平10-214821
出願日： 1997年01月30日
公開日（公表日）： 1998年08月11日
要約：

【要約】【課題】反応発光色を用いたドライプロセス監視方法に関し、ドライプロセス中におけるプロセス異常を検出し、不良製品の製造を防止する。【解決手段】ドライプロセス中に発生する反応発光色を受像手段2によってフルカラーで受像し、受像した画像信号に基づいてプロセス状態を監視する。

請求項（抜粋）：

ドライプロセス中に発生する反応発光色を受像手段によってフルカラーで受像し、受像した画像信号に基づいてプロセス状態を監視することを特徴とする反応発光色を用いたドライプロセス監視方法。

IPC (3件)：

H01L 21/3065 , H01L 21/205 , H01L 21/66

FI (3件)：

H01L 21/302 E , H01L 21/205 , H01L 21/66 P

引用特許：

審査官引用 (5件)

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