特許
J-GLOBAL ID:200903075750934000

電子放出装置、帯電装置および画像形成装置

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-080994
公開番号(公開出願番号):特開2002-279885
出願日: 2001年03月21日
公開日(公表日): 2002年09月27日
要約:
【要約】【課題】 カーボンナノチューブを用いた電子放出素子において、大気圧中でも素子の劣化がなく、低電圧でかつ安定した電子放出能を有する電子放出装置、帯電装置および画像形成装置を提供すること。【解決手段】 エミッタ電極12と引き出し電極14の間に電界をかけると、カーボンナノチューブ(CNT)10の先端に負の高電界が印加され、CNT10の先端から電界放出によって電子が放出される。放出した電子は、開口を被覆した引き出し電極14によって引き出され、引き出し電極14を貫通して電子放出装置の外へ導かれる。CNT10は陽極酸化膜11と引き出し電極14、エミッタ電極12で完全に囲まれ、CNT10は外気と完全に遮断されるので、細孔の内部から酸素や水などのCNT10を劣化させやすいガスを取り除くことによって、CNT10が電界放出時に劣化することを防止することができる。
請求項(抜粋):
石英、ガラス、セラミックス、金属、シリコン基板などによって構成される支持体と、前記支持体の片面上に金属または合金を成膜することにより形成されたエミッタ電極と、前記エミッタ電極上に所定の間隔で設置された複数のアルミニウム膜を硫酸、過塩素酸などの酸中で陽極化することにより形成された複数の陽極化膜と、前記複数の陽極化膜の各陽極化膜間に形成され、前記エミッタ電極と反対側に開口部を有する細孔と、前記複数の陽極化膜の各陽極化膜間に形成された細孔内に底面が前記エミッタ電極に接するように設置され、電子を電界放出するカーボンナノチューブと、前記細孔の開口部を被覆する引き出し電極と、を備え、前記カーボンナノチューブは、前記エミッタ電極と前記陽極酸化膜と前記引き出し電極とに囲まれていることを特徴とする電子放出装置。
IPC (2件):
H01J 1/304 ,  G03G 15/02 101
FI (2件):
G03G 15/02 101 ,  H01J 1/30 F
Fターム (15件):
2H200FA01 ,  2H200FA07 ,  2H200GA16 ,  2H200GA17 ,  2H200GA18 ,  2H200GA23 ,  2H200HA14 ,  2H200HB14 ,  2H200HB20 ,  2H200HB30 ,  2H200HB43 ,  2H200HB45 ,  2H200HB48 ,  2H200MA01 ,  2H200NA02
引用特許:
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (6件)
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