特許
J-GLOBAL ID：200903048834629265

電子放出素子及びその製造方法

発明者：
山野辺 正人

山野辺 正人 について

, 
塚本 健夫

塚本 健夫 について

, 
河手 信一

河手 信一 について


出願人/特許権者：
キヤノン株式会社

キヤノン株式会社 について


代理人 (1件)： 山下 穣平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-322348
公開番号（公開出願番号）：特開2000-188058
出願日： 1998年11月12日
公開日（公表日）： 2000年07月04日
要約：
【要約】【課題】電子放出効率が高く、高精細化が可能で、駆動電圧が低く、安定で、バラツキが少ない電子放出特性を有する電子放出素子を提供する。【解決手段】基板1上に、下部電極2、細孔5を有する絶縁層3、上部電極4をこの順に積層した電子放出素子において、絶縁層3は、陽極酸化層であり、細孔5の中に炭素堆積物を形成させる。
請求項（抜粋）：
基板上に、下部電極と、細孔を有する絶縁層と、上部電極とをこの順に積層した電子放出素子であって、前記細孔中に、炭素堆積物を有することを特徴とする電子放出素子。
IPC (6件)：
H01J 1/312 ,  H01J 9/02 ,  H01J 29/04 ,  H01J 31/12 ,  H01J 31/36 ,  H01J 31/38
FI (6件)：
H01J 1/30 M ,  H01J 9/02 M ,  H01J 29/04 ,  H01J 31/12 C ,  H01J 31/36 ,  H01J 31/38 Z
Fターム (18件)：
5C031DD09 ,  5C031DD17 ,  5C031DD19 ,  5C036EE01 ,  5C036EE14 ,  5C036EF01 ,  5C036EF06 ,  5C036EF09 ,  5C036EG12 ,  5C036EG15 ,  5C036EH01 ,  5C036EH04 ,  5C036EH06 ,  5C036EH08 ,  5C036EH11 ,  5C036EH17 ,  5C037AA01 ,  5C037AB23
引用特許：
審査官引用 (5件)
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