特許
J-GLOBAL ID:200903075793725812
水晶振動子及びその製造方法
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
浅川 哲
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-335362
公開番号(公開出願番号):特開2003-142979
出願日: 2001年10月31日
公開日(公表日): 2003年05月16日
要約:
【要約】【課題】 エッチング等によって加工が困難なカット角の水晶基板を所定の振動モードを得るための形状に精密に形成することで、等価直列抵抗及び等価インダクタンスの改善を図ることができる水晶振動子を提供すること。【解決手段】 X軸、Y軸及びZ軸からなる三次元の結晶方位を有する水晶結晶から所定のカット角で切り出された水晶基板を打ち抜き加工し、振動部23及びこの振動部23の端部から支持脚24a〜24dを介して延びる支持部25とが一体に形成された平板状の水晶振動子21において、前記振動部23がパウダービームの吹き付けによって支持部25より薄く形成した。
請求項(抜粋):
X軸、Y軸及びZ軸からなる三次元の結晶方位を有する水晶結晶から所定のカット角で切り出された水晶基板を打ち抜き加工し、振動部及びこの振動部の端部から延びる支持部とが一体に形成された平板状の水晶振動子において、前記振動部がパウダービームの吹き付けによって薄板状に加工されていることを特徴とする水晶振動子。
IPC (2件):
FI (2件):
H03H 9/19 A
, H03H 3/02 B
Fターム (7件):
5J108BB03
, 5J108CC04
, 5J108CC08
, 5J108CC11
, 5J108DD04
, 5J108EE07
, 5J108FF01
引用特許:
審査官引用 (7件)
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高周波圧電振動デバイス
公報種別:公開公報
出願番号:特願平6-071694
出願人:株式会社大真空
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硬脆質薄板の端面加工方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平5-134155
出願人:ソニー株式会社
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発振子
公報種別:公開公報
出願番号:特願平5-091115
出願人:松下電器産業株式会社
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