自動弁装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (6件)：社本一夫 , 増井忠弐 , 小林泰 , 千葉昭男 , 富田博行 , 竹内茂雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-101627
公開番号（公開出願番号）：特開2004-308740
出願日： 2003年04月04日
公開日（公表日）： 2004年11月04日
要約：

【課題】純水を使用して高圧アニール水蒸気処理方法を実施する時、純水中に金属イオン等の異物が混入し、酸化膜の絶縁性を阻害することがある。よって純水中へ金属イオン等を混入することなく好きなときに好きな量だけ純水を補充したり、その補充を停止したり出来る自動弁装置を提供する。【解決手段】圧力容器15内へ所望の流体を自動的に供給する弁装置13、70であって、長手方向に伸びる孔55、80を内部に有している弁本体46、71と、弁本体に装着されており流体を外部から弁本体内へ受け入れる受入部材47、72と、弁本体に装着されており受け入れた純水を弁本体から送り出す送出部材48、73と、弁本体の長手方向に伸びる孔内を移動可能な弁体49、74と、弁体を起動する起動部材51、76と、から成る弁装置と、弁本体に螺合する保持部材50、75と、により構成される。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

外部からの指令によって自動的に開閉作動する自動弁装置13;70であって、長手方向に伸びる孔55;79を内部に有している弁本体46;71と、弁本体46;71の中間部へ装着されており外部流体源12と弁本体とを連結している外部流体連結部材47;72と、弁本体46;71の一端部へ装着されており内部流体源20と弁本体とを連結している内部流体連結部材48;73と、弁本体46;71の長手方向に伸びる孔55;79内を移動可能な弁体49;74と、外部からの指令に応答して弁体49;74を起動する起動部材51;76と、を有しており、弁本体46;71が有している長手方向に伸びている孔55;79は、拡径直径孔(55a)と、これに連通しており該拡径直径孔よりも幾分小さい直径を有する縮径直径孔(55b)と、これらの直径孔の連結部分に形成されている円錐形状の弁座(55c)と、を有しており、また、拡径直径孔には内部流体連結部材48;73が装着され、縮径直径孔には外部流体連結部材47;72が装着されており、更に、内部流体連結部材48;73が装着される前記弁本体46;71の一端部には、拡径フランジ58;80が形成されており、外部流体連結部材47;72が装着される前記弁本体46;71の中間部には、ねじ59;81が形成されており、弁体49;74が、拡径直径孔(55a)内において移動可能な概ねコマ形状を有している上端部(60)であって、弁座(55c)から遊離しているときには拡径直径孔(55a)を介して外部流体連結部材47;72側及び内部流体連結部材48;73側の両方向への流体移動を可能とするが、弁座(55c)へ係合することにより流体の流れを遮断する上端部(60)と、縮径直径孔(55b)の直径よりも小さい直径を有し、弁本体46;71と外部流体源12との間での流体の移動を可能としている中間軸部(61)と、縮径直径孔(55b)の直径とほぼ同様の直径を有しかつ起動部材51;76が接続されている下方軸部と、を有しており、前記拡径フランジ58;80と前記ねじ59;81へ螺合する部材50;75との協働作用により所定装置へ固着可能となっている自動弁装置。

IPC (2件)：

F16K1/00 , H01L21/31

FI (2件)：

F16K1/00 E , H01L21/31 A

Fターム (15件)：

3H052AA01 , 3H052BA31 , 3H052CA01 , 3H052CB01 , 3H052CC03 , 3H052CD01 , 3H052EA09 , 5F045AA20 , 5F045AB32 , 5F045AF03 , 5F045AF07 , 5F045BB14 , 5F045DP19 , 5F045DQ05 , 5F045EC07

引用特許：

審査官引用 (10件)

圧力下の流体を受け取り、貯蔵し且つ分配する装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-263730 出願人：シュピアリア・バルブ・カンパニー
バルブ
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-016565 出願人：株式会社イナックス
特開平4-337172

全件表示

前のページに戻る