マイクロ機械装置の熱屈曲アクチュエータ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：橋爪健
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-507736
公開番号（公開出願番号）：特表2003-503227
出願日： 2000年05月24日
公開日（公表日）： 2003年01月28日
要約：

【要約】熱屈曲アクチュエータ(28)は、ロッド要素(102)を介して接続された二つの間隔を空けて位置するアーム(31,32)を有している。ロッド要素(102)は、ねじり棒(110,112,114,116,118)を介して互いに接続されている。一本のアーム(32)を導電的に加熱して、電流を流すことによりアクチュエータ(28)を屈曲させることができる。ロッド要素(102)とねじり棒(110,112,114,116,118)は、アクチュエータ(28)の不適切な動作を引き起こす可能性のある不本意な屈曲状態が起きる可能性を低減する。アクチュエータ(28)は、インクジェット装置のノズル室のなかのインク移動パドルを移動させるために使用することができる。

請求項（抜粋）：

マイクロ電気機械装置用の熱屈曲アクチュエータであって、第1のアクチュエータ部と; 第1のアクチュエータ部から間隔を空けて位置し、導電的に加熱されて熱屈曲アクチュエータを屈曲させる第2のアクチュエータ部と; 第1と第2の部分を相互接続する第1の接続部材と; 第1と第2の部分を相互接続する第2の接続部材と; 第1と第2の接続部材に連結され第1と第2の接続部材を相互接続するねじり部材とを備えた前記アクチュエータ。

IPC (3件)：

B81B 3/00 , B41J 2/015 , F03G 7/06

FI (3件)：

B81B 3/00 , F03G 7/06 Z , B41J 3/04 103 Z

Fターム (3件)：

2C057BA06 , 2C057BA15 , 2C057BF06

引用特許：

審査官引用 (7件)

特開平4-001051
インクジェットヘッド
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-148933 出願人：シャープ株式会社
特表平4-506392

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