特許
J-GLOBAL ID：200903076056252284

感放射線性組成物

発明者：
岩永 伸一郎

岩永 伸一郎 について

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桜井 明彦

桜井 明彦 について

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田辺 隆喜

田辺 隆喜 について

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辻 昭

辻 昭 について


出願人/特許権者：
日本合成ゴム株式会社

日本合成ゴム株式会社 について


代理人 (1件)： 大島 正孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-045109
公開番号（公開出願番号）：特開平9-292709
出願日： 1997年02月28日
公開日（公表日）： 1997年11月11日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 高精度の微細パターンを安定して形成することができ、紫外線、遠紫外線、X線等の各種放射線に有効に感応する化学増幅型ポジ型レジストを提供する。【解決手段】 一般式(1)、(2)で示される繰返し単位からなる(A)共重合体と一般式(1)、(3)からなる(B)共重合体および感放射線性酸発生剤からなる感放射線性組成物。R1は水素原子またはメチル基を示す。R6は水素原子またはメチル基を示す。ここで、R2は水素原子またはメチル基、R3は水素原子炭素数1〜10の鎖状アルキル基等、R4とR5は互いに独立に炭素数1〜10の鎖状アルキル基等、を示すかあるいはR3、R4およびR5のいずれか2つが互いに結合して5〜7員環を形成していてもよい。
請求項（抜粋）：
(A)下記式(1)で表される繰返し単位と下記式(2)で表される繰返し単位からなる共重合体、【化1】ここで、R1は水素原子またはメチル基を示す、【化2】ここで、R2は水素原子またはメチル基を示し、R3は水素原子、炭素数1〜10の鎖状アルキル基、炭素数3〜10の環状アルキル基、炭素数6〜10のアリール基または炭素数7〜11のアラルキル基を示し、R4とR5は互いに独立に炭素数1〜10の鎖状アルキル基、炭素数1〜10のハロゲン化アルキル基、炭素数3〜10の環状アルキル基、炭素数6〜10のアリール基または炭素数7〜11のアラルキル基を示すかあるいはR3、R4およびR5のいずれか2つが互いに結合して5〜7員環を形成していてもよい、(B)下記式(3)で表される繰返し単位、上記式(1)で表される繰返し単位を含有する共重合体【化3】ここで、R6は水素原子またはメチル基を示す、および(C)感放射線性酸発生剤、を含有することを特徴とする感放射線性組成物。
IPC (4件)：
G03F 7/039 501 ,  G03F 7/004 503 ,  H01L 21/027 ,  C09K 3/00
FI (5件)：
G03F 7/039 501 ,  G03F 7/004 503 ,  C09K 3/00 K ,  C09K 3/00 Z ,  H01L 21/30 502 R
引用特許：
審査官引用 (3件)

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