特許
J-GLOBAL ID:200903076092269835
ファザ-・スタンパ-の大量製造方法
発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-076841
公開番号(公開出願番号):特開平11-333885
出願日: 1999年03月19日
公開日(公表日): 1999年12月07日
要約:
【要約】【課題】高精度なファザー・スタンパーを安価に大量生産【解決手段】セラミックス製の原盤(3)上にメッキ法によりファザー・スタンパー(4)を形成する→スタンパー(4)を原盤(3)から剥離する→(好ましくは原盤(3)の応力を緩和する)→原盤(3)上に再びファザー・スタンパー(4)を形成する→スタンパー(4)を原盤(3)から剥離する→以上の剥離とメッキを何度も繰り返す
請求項(抜粋):
セラミックス製の原盤を用意する第1工程と、前記原盤上にメッキ法によりファザー・スタンパーを形成する第2工程と、前記スタンパーを前記原盤から剥離する第3工程と、剥離された後に残された前記原盤上に再びファザー・スタンパーを形成する第4工程と、前記スタンパーを前記原盤から剥離する第5工程と、前記第4工程と前記第5工程で1つのサイクルを形成し、このサイクルを複数回繰り返す工程とからなることを特徴とするファザー・スタンパーの大量製造方法。
IPC (5件):
B29C 45/26
, B29C 33/38
, G11B 7/24 531
, G11B 7/26 511
, B29L 17:00
FI (4件):
B29C 45/26
, B29C 33/38
, G11B 7/24 531 B
, G11B 7/26 511
引用特許:
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