特許
J-GLOBAL ID：200903076118259590

インクジェットプリンタヘッドの製造方法

発明者：
井上 秀昭

井上 秀昭 について


出願人/特許権者：
カシオ計算機株式会社

カシオ計算機株式会社 について


代理人 (1件)： 大菅 義之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-321984
公開番号（公開出願番号）：特開2001-138527
出願日： 1999年11月12日
公開日（公表日）： 2001年05月22日
要約：
【要約】【課題】最端部も中央部のオリフィスも同じ吐出速度でインクを吐出できるインクジェットプリンタヘッドの製造方法を提供する。【解決手段】チップ基板15の上一面に光硬化性樹脂16を塗布した上に遮光部17aと切り欠き部17bからなるネガのフォトマスク17を形成する。最端部の遮光部17a-1の幅nは他の中央部側の遮光部17a-2の幅mよりも約10%だけ狭く形成する。これを露光して非硬化部16-1と仮硬化部16-2を形成した後エッチングして非硬化部16-1を除去(現像)すると、最端部の除去部18aは他の除去部18よりも幅狭に形成される。これらを焼成すると収縮・本硬化した端部区画隔壁19-1と中央部側区画隔壁19-2が形成され、現像時に狭かった最端部インク加圧室21-1は焼成時の端部区画隔壁19-1の縮み応力を受けて広がり、中央部側インク加圧室21-2と等幅に形成される。
請求項（抜粋）：
基板上の所定方向に並んで配設され液体を吐出させるための圧力エネルギーを発生させる複数のエネルギー発生素子と、前記基板上に立設され各エネルギー発生素子により前記液体に圧力を加える加圧室をそれぞれ区画形成する隔壁と、該隔壁に重畳して設けられインク吐出用のオリフィスが空けられたオリフィスプレートと、前記加圧室にインクを供給するインク流路とを有し、前記エネルギー発生素子の駆動により前記液体を記録媒体上に吐出させて記録を行うインクジェットプリントヘッドの製造方法であって、前記隔壁を形成するための光硬化性樹脂を塗布する工程と、塗布後の前記光硬化性樹脂を隔壁形成用のマスクパターンを介して露光する工程と、露光後の前記光硬化性樹脂をエッチングする工程と、エッチング後の前記光硬化性樹脂を焼成する工程と、を有し、前記マスクパターンは、前記光硬化性樹脂を除去する部分の幅において、前記所定方向の端部における除去幅を該端部以外の除去幅よりも狭く形成したことを特徴とするインクジェットプリントヘッドの製造方法。
IPC (2件)：
B41J 2/16 ,  B41J 2/05
FI (2件)：
B41J 3/04 103 H ,  B41J 3/04 103 B
Fターム (9件)：
2C057AF24 ,  2C057AF30 ,  2C057AF42 ,  2C057AF93 ,  2C057AP02 ,  2C057AP31 ,  2C057AP47 ,  2C057BA04 ,  2C057BA13
引用特許：
審査官引用 (10件)
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