特許
J-GLOBAL ID:200903076130121154

マイクロミラー素子、マイクロミラー素子用のパッケージ、およびそのための投射システム

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件): 園田 吉隆 ,  小林 義教
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-517555
公開番号(公開出願番号):特表2004-506230
出願日: 2001年08月03日
公開日(公表日): 2004年02月26日
要約:
切換方向における光の回折、より具体的には集光系の受光コーンへの光の回折を最小化するために、本発明は、矩形ではないマイクロミラーを提供する。また、本発明における照射系のコストおよびディスプレイユニットの大きさを最小化するために、光源をアレイの行(または列)に対して垂直に配置し、それとともに、またはその代わりに、光源をアレイの有効エリアを画定する枠の辺に対して垂直に配置する。入射光は、有効エリアの辺に対して垂直ではあるが、アレイの中の個別のマイクロミラーの側面に対して実質的に垂直ではない。垂直な側面は、入射光をマイクロミラーの切換方向に回折させ、マイクロミラーが「オフ」状態であっても、光を「オン」状態のように漏洩させてしまう。この光の回折は、マイクロミラーのコントラスト比を低下させるものである。本発明のマイクロミラーは、コントラスト比が改善されており、本発明におけるマイクロミラーアレイに対する光源の配置によって、よりコンパクトなシステムが得られる。本発明のさらなる特徴として、マイクロミラーは逆方向に回転することでオンとオフ位置(オン位置は、集光系に光を送るものである)に設定され、オン位置への変位量がオフ位置への変位量より大きい。本発明のさらなる特徴は、マイクロミラーアレイ用のパッケージであり、パッケージは、マイクロミラーが形成される基板に対して平行ではない窓を有する。本発明の一実施形態は、上記特徴をすべて含むものである。
請求項(抜粋):
矩形に配置され、オフ状態とオン状態との間を切換軸の廻りを回転することができ、観視される映像のピクセルに対応する能動マイクロミラーのアレイ、 マイクロミラーアレイに光を送るための光源であって、各マイクロミラーの少なくとも2つの側面に対して非垂直に、そして各マイクロミラーの少なくとも他の2つの側面に対して、各マイクロミラーの上面から見た場合に、平行に、光を送るように配置された光源、および オン状態のマイクロミラーから光を受けるように配置された集光系を具備する投射システム。
IPC (4件):
G02B26/08 ,  B81B3/00 ,  B81B7/04 ,  G02B27/18
FI (4件):
G02B26/08 E ,  B81B3/00 ,  B81B7/04 ,  G02B27/18 Z
Fターム (5件):
2H041AA16 ,  2H041AB14 ,  2H041AC06 ,  2H041AZ01 ,  2H041AZ08
引用特許:
審査官引用 (5件)
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