光起電力型紫外線センサ

発明者： , , , , , , ,
出願人/特許権者： , ,
代理人 (2件)：山崎拓哉 , 立原聡
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-088262
公開番号（公開出願番号）：特開2007-201393
出願日： 2006年03月28日
公開日（公表日）： 2007年08月09日
要約：

【課題】複雑な装置等を必要とせず、可視光に感度がなく、且つ、応答速度の速い紫外線センサを提供すること。【解決手段】紫外線センサは、光起電力型のものであり、酸化亜鉛単結晶基板11と、その+c面上に形成されたショットキー電極12からなる紫外線受光部を備える。ショットキー電極12は、紫外線透過性を呈するような膜厚を有しており、例えば、Pt,Ru,Pd,Au,Ni,Ir,Os,Re,Rh,Te又はWからなる層を少なくとも一層備えたものを用いることができる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

+c面を有する酸化亜鉛単結晶と;該酸化亜鉛単結晶の+c面上に形成された紫外線受光部であって紫外線を受けると単独で又は前記酸化亜鉛単結晶と協働して電圧を発生する紫外線受光部;を備える光起電力型紫外線センサ。

IPC (4件)：

H01L 31/108 , H01L 21/28 , H01L 29/872 , H01L 29/47

FI (3件)：

H01L31/10 C , H01L21/28 301B , H01L29/48 D

Fターム (32件)：

4M104AA10 , 4M104BB02 , 4M104BB04 , 4M104BB05 , 4M104BB06 , 4M104BB07 , 4M104BB09 , 4M104BB13 , 4M104BB14 , 4M104BB18 , 4M104BB36 , 4M104CC01 , 4M104CC05 , 4M104DD37 , 4M104DD68 , 4M104EE06 , 4M104EE14 , 4M104EE16 , 4M104EE17 , 4M104FF31 , 4M104GG05 , 5F049MA05 , 5F049MB01 , 5F049MB11 , 5F049NA03 , 5F049NB10 , 5F049PA11 , 5F049SE05 , 5F049SZ03 , 5F049SZ12 , 5F049SZ13 , 5F049WA05

引用特許：

出願人引用 (2件)

特開平3-241777号公報
紫外線検出素子とそれを用いた紫外線検出方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-341697 出願人：積水化成品工業株式会社

審査官引用 (2件)

紫外線検出素子とそれを用いた紫外線検出方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-341697 出願人：積水化成品工業株式会社
紫外線センサ素子及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2005-092223 出願人：地方独立行政法人岩手県工業技術センター

引用文献：

審査官引用 (2件)

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