特許
J-GLOBAL ID:200903076184980802
針状体アレイ原版および針状体アレイの製造方法
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (21件):
鈴江 武彦
, 蔵田 昌俊
, 河野 哲
, 中村 誠
, 福原 淑弘
, 峰 隆司
, 白根 俊郎
, 村松 貞男
, 野河 信久
, 幸長 保次郎
, 河野 直樹
, 砂川 克
, 風間 鉄也
, 勝村 紘
, 河井 将次
, 佐藤 立志
, 岡田 貴志
, 堀内 美保子
, 竹内 将訓
, 市原 卓三
, 山下 元
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2009-079842
公開番号(公開出願番号):特開2009-254814
出願日: 2009年03月27日
公開日(公表日): 2009年11月05日
要約:
【課題】要求される高さ、根元幅、先端角度および/または表面粗さなど、形状についての規格を満たす針状体を具備する針状体アレイを容易に形成できる手段を提供する。【解決手段】基体と、前記基体の第一の面に形成された針状体とを具備する針状体アレイを製造するための針状体原版の製造方法であって、感光性ガラスにエネルギー分布を持たせて露光を行うことにより露光部を形成する工程と、露光後に加熱処理により前記露光部を改質させて改質部を形成する工程と、等方性エッチングにより前記改質部を除去する工程と、を備えた針状体アレイ原版の製造方法。【選択図】図1
請求項(抜粋):
基体と、前記基体の第一の面に形成された針状体とを具備する針状体アレイを製造するための針状体原版の製造方法であって、
感光性ガラスにエネルギー分布を持たせて露光を行うことにより露光部を形成する工程と、
露光後に加熱処理により前記露光部を改質させて改質部を形成する工程と、
等方性エッチングにより前記改質部を除去する工程と、
を備えた針状体アレイ原版の製造方法。
IPC (3件):
A61M 37/00
, B81C 1/00
, B81C 5/00
FI (3件):
A61M37/00
, B81C1/00
, B81C5/00
Fターム (14件):
3C081AA18
, 3C081BA01
, 3C081BA04
, 3C081BA06
, 3C081BA72
, 3C081CA15
, 3C081CA23
, 3C081CA36
, 3C081EA39
, 4C167AA71
, 4C167BB06
, 4C167BB47
, 4C167CC01
, 4C167GG41
引用特許:
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