特許
J-GLOBAL ID：200903076219049600
照明装置、露光装置及びデバイス製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
丸島 儀一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-197541
公開番号（公開出願番号）：特開平9-045607
出願日： 1995年08月02日
公開日（公表日）： 1997年02月14日
要約：
【要約】【課題】 照度むらを小さくすること。【解決手段】 結像系101によりオプティカルオンテグレータ10の光入射面10a上に水銀灯1の発光部1aの像を形成し、結像系101のレンズ系5とレンズ系9の間のレンズ系9の前側焦点位置の近傍に光軸調整装置21を設け、光軸調整装置21により光束全体を偏向する。光軸調整装置21により光束全体を偏向すると、光束全体の光入射面10a上への入射位置を変わり、ウエハ-18面での照度分布が変わるので、光束全体の偏向方向を調整することによりウエハ-18面での照度むらを小さくする。
請求項（抜粋）：
照射光学系により多光束形成手段上に光束を照射し、該多光束形成手段により形成した多数の光束で被照明面を照明する照明装置において、前記多光束形成手段上に照射される光束全体を偏向する第1光偏向部材を前記照射光学系の前側焦点位置またはその近傍に設けたことを特徴とする照明装置。
IPC (3件)：
H01L 21/027
, G03F 7/20 521
, G03F 7/207
H01L 21/30 527
, G03F 7/20 521
, G03F 7/207 H
, H01L 21/30 515 C
