特許

J-GLOBAL ID：200903076294277988

ターボ分子ポンプ

発明者： 宮本 松太郎 ,  小神野 宏明
出願人/特許権者： 株式会社荏原製作所
代理人 (1件)： 渡邉 勇 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-040325
公開番号（公開出願番号）：特開2001-082379
出願日： 2000年02月17日
公開日（公表日）： 2001年03月27日
要約：

【要約】【課題】 ロータ側に異常が発生した場合でも、ステータやポンプケーシング等の静止構造部分の破損とこれに伴う真空系の破壊に繋がらないような安全性の高いターボ分子ポンプを提供する。【解決手段】 ロータと、該ロータの周囲を取り囲むステータ構造体と、該ステータ構造体を取り囲むケーシング部とを有するターボ分子ポンプにおいて、前記ステータ構造体と前記ケーシング部との間に少なくとも部分的な空間を形成しており、前記ロータより前記ステータ構造体に異常トルクが作用したときに、該ステータ構造体から前記ケーシング部へ直接的な衝撃の伝達を阻止するようになっている。

請求項（抜粋）：

ロータと、該ロータの周囲を取り囲むステータ構造体と、該ステータ構造体を取り囲むケーシング部とを有するターボ分子ポンプにおいて、前記ステータ構造体と前記ケーシング部との間に少なくとも部分的な空間を形成し、前記ロータより前記ステータ構造体に異常トルクが作用したときに、該ステータ構造体から前記ケーシング部へ直接的な衝撃の伝達を阻止するようになっていることを特徴とするターボ分子ポンプ。

Fターム (9件)：

3H031DA01 ,  3H031DA02 ,  3H031DA07 ,  3H031EA06 ,  3H031EA09 ,  3H031FA01 ,  3H031FA31 ,  3H031FA34 ,  3H031FA39

引用特許：

審査官引用 (4件)

• ターボ分子ポンプ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-223606   出願人：三菱重工業株式会社
• モレキュラドラッグポンプ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-283375   出願人：株式会社島津製作所
• ターボ分子ポンプ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-274571   出願人：株式会社島津製作所
• 特開平4-339194