特許
J-GLOBAL ID：200903076336509086
微小電気機械式装置の封止構造および封止方法ならびに微小電気機械式装置
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-048239
公開番号（公開出願番号）：特開2005-123561
出願日： 2004年02月24日
公開日（公表日）： 2005年05月12日
要約：
【課題】 微小電気機械式装置(MEMS)の可動部を個別に良好に封止して保護することができる微小電気機械式装置の封止構造を提供すること。 【解決手段】 基板1上に形成された微小電気機械式構造体2を、基板1上に微小電気機械式構造体2を覆うように形成された封止部材3との間の空間内に封止する微小電気機械式装置の封止構造において、封止部材3は、空間側に位置するとともに貫通孔4aを有する第1封止部材4と、その外側に位置して貫通孔4aを塞いでいる第2封止部材5とから成る。微小電気機械式構造体2とその封止構造とは一連の工程で形成可能であり、封止構造は微小電気機械式構造体2およびその周囲の極めて局所的な部分に形成することができるので、量産効果に優れた封止構造により、極めて小さな微小電気機械式装置を提供することができる。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
基板上に形成された微小電気機械式構造体を、前記基板上に前記微小電気機械式構造体を覆うように形成された封止部材との間の空間内に封止する微小電気機械式装置の封止構造において、前記封止部材は、前記空間側に位置するとともに貫通孔を有する第1封止部材と、その外側に位置して前記貫通孔を塞いでいる第2封止部材とから成ることを特徴とする微小電気機械式装置の封止構造。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (2件)
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