特許
J-GLOBAL ID:200903076390674890
位置検出マーク及びこの検出マークを配置した表示体
発明者:
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出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-254188
公開番号(公開出願番号):特開2004-093853
出願日: 2002年08月30日
公開日(公表日): 2004年03月25日
要約:
【課題】基材上の位置を光学的に検出するための位置検出マークにおいて、基材上に多数配設された回折格子パターンなどの位置を確実に検出可能な位置検出マークを提供することである。【解決手段】光学的に位置を読み取るための位置検出マークにおいて、 基材表面の凹凸で形成された回折格子と、前記回折格子と同一の領域に基材表面の凹凸で形成された光散乱要素を有する光散乱体とからなることを特徴とする位置検出マークを用いることにより解決した。【選択図】図3
請求項(抜粋):
光学的に位置を読み取るための位置検出マークにおいて、
基材表面の凹凸で形成された回折格子と、前記回折格子と同一の領域に基材表面の凹凸で形成された光散乱要素を有する光散乱体とからなることを特徴とする位置検出マーク。
IPC (3件):
G02B5/18
, G01B11/00
, G02B5/32
FI (3件):
G02B5/18
, G01B11/00 A
, G02B5/32
Fターム (18件):
2F065AA01
, 2F065BB13
, 2F065BB15
, 2F065BB28
, 2F065FF44
, 2F065FF48
, 2F065GG06
, 2F065GG07
, 2F065HH04
, 2F065HH12
, 2F065JJ09
, 2F065UU08
, 2H049AA13
, 2H049AA55
, 2H049AA64
, 2H049CA05
, 2H049CA08
, 2H049CA11
引用特許:
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