特許
J-GLOBAL ID:200903076563720630
多孔質金属化合物薄膜の成膜方法及び有機色素増感型太陽電池
発明者:
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出願人/特許権者:
,
代理人 (3件):
小島 隆司
, 重松 沙織
, 小林 克成
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-199300
公開番号(公開出願番号):特開2005-039013
出願日: 2003年07月18日
公開日(公表日): 2005年02月10日
要約:
【解決手段】基板上に、金属又は金属化合物からなる第1成分と、上記第1成分とは異なる金属化合物からなる第2成分とが互いに混合分散してなり、上記第1成分と第2成分との組成比が膜厚方向に変化する混合薄膜を成膜し、次いで上記混合薄膜中の第1成分を選択的に除去することを特徴とする多孔質金属化合物薄膜の成膜方法、及びこの方法により上記多孔質金属化合物薄膜を成膜した有機色素増感型太陽電池用半導体電極を用いた有機色素増感型太陽電池。【効果】本発明によれば、透明電極が形成された基板上に多孔質金属化合物薄膜が成膜されてなる有機色素増感型太陽電池用半導体電極用の多孔質金属化合物薄膜として好適な多孔質金属化合物薄膜を成膜することができ、またこの方法により上記多孔質金属化合物薄膜を成膜した有機色素増感型太陽電池用半導体電極を用いた有機色素増感型太陽電池は、優れた光電変換効率を示すものである。【選択図】 なし
請求項(抜粋):
基板上に、金属又は金属化合物からなる第1成分と、上記第1成分とは異なる金属化合物からなる第2成分とが互いに混合分散してなり、上記第1成分と第2成分との組成比が膜厚方向に変化する混合薄膜を成膜し、次いで上記混合薄膜中の第1成分を選択的に除去することを特徴とする多孔質金属化合物薄膜の成膜方法。
IPC (4件):
H01L31/04
, C23C14/08
, C23C14/58
, H01M14/00
FI (4件):
H01L31/04 Z
, C23C14/08 E
, C23C14/58 Z
, H01M14/00 P
Fターム (22件):
4K029AA09
, 4K029BA48
, 4K029BB02
, 4K029CA06
, 4K029DC03
, 4K029DC05
, 4K029DC34
, 4K029DC39
, 4K029GA00
, 5F051AA14
, 5F051CB15
, 5F051CB27
, 5F051FA03
, 5H032AA06
, 5H032AS06
, 5H032AS16
, 5H032BB05
, 5H032BB06
, 5H032EE01
, 5H032EE02
, 5H032EE16
, 5H032HH01
引用特許:
審査官引用 (5件)
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太陽電池
公報種別:公開公報
出願番号:特願平10-119799
出願人:ミノルタ株式会社
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湿式太陽電池
公報種別:公開公報
出願番号:特願平8-329968
出願人:株式会社ニコン
-
色素増感型太陽電池及びその製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願2001-177745
出願人:アイシン精機株式会社
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