回転対称体或いは鏡面対称体のオーバレイ確定用器具及び方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：特許業務法人明成国際特許事務所
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-521428
公開番号（公開出願番号）：特表2009-500863
出願日： 2006年06月30日
公開日（公表日）： 2009年01月08日
要約：

【解決手段】順応性のある対称性を持ったオーバレイターゲット及びかようなターゲットの二枚以上連続した層の間のオーバレイ誤差、或は同一の層の上の二つのセットの構成体の間のズレを計測するメトロロジ技術を提供するものである。或る実施例によれば、ターゲットにはx方向とy方向両方に沿ったオーバレイ誤差(或はズレ)を測定する構成体が含まれ、ここでx構成体はy構成体と異なる対称中心を持つ。別の実施例では、x構成体とy構成体の中の一つは180度の回転によって不変であり、他の一つは鏡面対称である。又、発明の一様相に於いて、180度の回転によって x構成体とy構成体共に変形である。更に別の例では、x方向及び/或はy方向でオーバレイを測定するためのターゲットは、第一層の上の180度の回転対称の構成体と第二層の上の鏡面対称の構成体を含む。別の実施例に於いて、x方向及び/或はy方向のオーバレイを確定するターゲットは、第一層の上の構成体と第二層の上の構成体を含み、第一層の上の構成体の対称中心は第二層の上の構成体の対称中心から既知の量だけオフセットされて居る。或る特別の実施例として、開示された実施例のいずれのターゲットも装置構成体の形態をとってよい。使用の場合、第一と第二の各々の層で内在的に180度回転対称或は鏡面対称を持つ装置構成体が第一層と第二層でのオーバレイの測定に使用される。順応性のある対称性を持ったターゲットの撮像して取得した画像を解析してオーバレイや整列に関する誤差を確定する技術を開示する。【選択図】図6

請求項（抜粋）：

基板の二枚以上連続した層の間、或いは基板の唯一の層の上に離れて生成された2個以上のパタンの間のズレを確定するための半導体ターゲットであって、第一対称中心或いは第一対称直線を有する複数の第一構成体であって、その第一構成体の画像を解析することによってx方向の相対的ズレを確定するように配置された複数の第一構成体と、第二対称中心或いは第二対称直線を有する複数の第二構成体であって、その第二構成体の画像を解析することによってx方向の相対的ズレを確定するように配置された複数の第二構成体とから成り、第一対称中心或いは対象直線が第二対称中心或いは対象直線とは異なる位置にある、ターゲット。

IPC (1件)：

H01L 21/027

FI (1件)：

H01L21/30 522

Fターム (1件)：

5F046EA01

引用特許：

審査官引用 (4件)

重ね合わせマーク、重ね合わせマークの設計方法および重ね合わせ測定の方法
公報種別：公表公報出願番号：特願2002-524212 出願人：ケーエルエー-テンカー・コーポレーション
収差測定方法及び収差測定システム
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-271260 出願人：株式会社東芝
半導体装置製造用重ね合わせ測定マークの配置構造
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-098614 出願人：松下電子工業株式会社

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