特許
J-GLOBAL ID:200903076656763207

実装基板検査装置

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-376420
公開番号(公開出願番号):特開2005-140603
出願日: 2003年11月06日
公開日(公表日): 2005年06月02日
要約:
【課題】基板全面を均一の画像処理アルゴリズムで比較画像処理する実装基板検査装置は、教示プログラム作成が不要でかつ高速であるというメリットがあるが、最近の最高速の製造ライン速度にはまだ速度不足であるという課題があった。【解決手段】基板全面を均一の画像処理アルゴリズムで比較検査する実装基板検査装置において、自動検査の範囲を、視野画像全体から基板領域もしくは部品実装領域に限定したので、最高速製造ラインの速度に十分対応できる検査速度が実現する。【選択図】図1
請求項(抜粋):
検体基板の撮像視野画像と基準基板の撮像視野画像とを全画素に亘って均一の差分画像処理プログラムで比較画像処理して不良箇所を検出する実装基板検査装置において、比較画像処理する範囲を基板領域あるいは部品実装領域に限定することによって処理データ量を削減し、自動検査の高速化を実現した実装基板検査装置であって、 撮像視野中の基板領域あるいは部品実装領域を教示する教示手段と、 ピクセル配置がX軸方向に沿う1次元イメージセンサ及びX軸に直交するYテーブルを備え、基板あるいはセンサを相対的にY軸移動して基板領域を含む視野画像を獲得する撮像手段と、 獲得画像の全画素に亘って均一の差分画像処理プログラムで比較画像処理して検体基板と基準基板の基板領域あるいは部品実装領域の相違点を抽出する画像処理アルゴリズムを備える画像処理手段と より成る実装基板検査装置。
IPC (5件):
G01N21/956 ,  G06T1/00 ,  G06T7/00 ,  H05K3/34 ,  H05K13/08
FI (6件):
G01N21/956 B ,  G06T1/00 305B ,  G06T1/00 510 ,  G06T7/00 300E ,  H05K3/34 512A ,  H05K13/08 U
Fターム (30件):
2G051AA65 ,  2G051AB02 ,  2G051CA03 ,  2G051EA12 ,  2G051EA14 ,  2G051EA21 ,  2G051ED01 ,  5B057AA03 ,  5B057BA19 ,  5B057BA24 ,  5B057CA01 ,  5B057CA08 ,  5B057CA12 ,  5B057CB01 ,  5B057CB12 ,  5B057CE16 ,  5B057DB02 ,  5B057DB06 ,  5B057DB09 ,  5B057DC25 ,  5B057DC33 ,  5E319AA01 ,  5E319CD53 ,  5L096AA02 ,  5L096BA03 ,  5L096CA16 ,  5L096CA24 ,  5L096GA06 ,  5L096GA41 ,  5L096HA07
引用特許:
出願人引用 (4件)
  • 検査装置
    公報種別:公開公報   出願番号:特願2002-196844   出願人:小林茂樹
  • 検出装置
    公報種別:公開公報   出願番号:特願2003-084161   出願人:小林茂樹
  • 複合視点検査装置及び製造方法
    公報種別:公開公報   出願番号:特願2003-153620   出願人:小林茂樹
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