特許
J-GLOBAL ID：200903076662316352
セラミックサセプターの取付構造、セラミックサセプターの支持構造、セラミックサセプターの支持部材、セラミックサセプターの支持構造を形成する方法、および加圧治具
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
細田 益稔
, 青木 純雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-176741
公開番号（公開出願番号）：特開2004-022382
出願日： 2002年06月18日
公開日（公表日）： 2004年01月22日
要約：
【課題】セラミックサセプターと支持部材との接合部分における熱応力を低減でき、かつ接合面における接合不良を抑制でき、微細なクラックや気体リークを生じにくいようなセラミックサセプターの取付構造を提供する。【解決手段】加熱されるセラミックサセプター1A、このセラミックサセプター1Aの背面に接合されているセラミックス製の支持部材3、およびこの支持部材3を固定しているチャンバー9を備えているセラミックサセプターの取付構造13であって、支持部材3が、本体部分3a、セラミックサセプター1Aに対する接合面5、および接合面5と反対側の端面3fを有しており、接合面5の外側輪郭の幅D1が端面3fの外側輪郭の幅D2よりも大きく、かつ接合面5の内側輪郭の幅E1が端面3fの内側輪郭の幅E2よりも大きい。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
加熱されるセラミックサセプター、このセラミックサセプターの背面に接合されているセラミックス製の支持部材、およびこの支持部材を固定しているチャンバーを備えているセラミックサセプターの取付構造であって、
前記支持部材が、本体部分、前記セラミックサセプターに対する接合面、および前記接合面と反対側の端面を有しており、
前記接合面の外側輪郭の幅D1が前記端面の外側輪郭の幅D2よりも大きく、かつ前記接合面の内側輪郭の幅E1が前記端面の内側輪郭の幅E2よりも大きいことを特徴とする、セラミックサセプターの取付構造。
IPC (3件)：
H05B3/06
, H01L21/02
, H05B3/74
H05B3/06 B
, H01L21/02 Z
, H05B3/74
3K092PP09
, 3K092QA05
, 3K092QB02
, 3K092RF03
, 3K092RF11
, 3K092RF27
, 3K092TT02
, 3K092TT28
, 3K092VV26
