特許
J-GLOBAL ID：200903000229075417
窒化アルミニウム質焼結体、耐蝕性部材、金属埋設品および半導体保持装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉村 暁秀 (外8名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-209452
公開番号（公開出願番号）：特開2000-044345
出願日： 1998年07月24日
公開日（公表日）： 2000年02月15日
要約：
【要約】【課題】窒化アルミニウム質焼結体の耐蝕性、特にハロゲン系腐食性ガスのプラズマに対する耐蝕性を、一層向上させる。【解決手段】窒化アルミニウム質焼結体は、窒化アルミニウムを主成分とし、窒化アルミニウム結晶の多結晶構造を有しており、マグネシウムを含有している。本焼結体は、好ましくは、マグネシウムを酸化物換算で0.1重量%以上、20重量%以下含有しており、700°Cにおける体積抵抗率が1×107 Ω・cm以上であり、熱伝導率が80W/m・K以下であり、マグネシウムの少なくとも一部が窒化アルミニウム結晶に固溶しており、X線線回折により、実質的に構成相が窒化アルミニウム単相と見なされており、マグネシウムを除く金属不純物量が600ppm以下である。
請求項（抜粋）：
窒化アルミニウムを主成分とし、窒化アルミニウム結晶の多結晶構造を有しており、マグネシウムを含有していることを特徴とする、窒化アルミニウム質焼結体。
IPC (2件)：
FI (2件)：
C04B 35/58 104 F
, H01L 21/68 N
4G001BA01
, 4G001BA06
, 4G001BA36
, 4G001BA71
, 4G001BA81
, 4G001BA82
, 4G001BB01
, 4G001BB06
, 4G001BB36
, 4G001BB67
, 4G001BB71
, 4G001BC42
, 4G001BC43
, 4G001BD02
, 4G001BD23
, 4G001BD37
, 4G001BD38
, 4G001BE11
, 5F031DA13
, 5F031EA01
, 5F031MA28
, 5F031MA32
