特許
J-GLOBAL ID：200903076692095300
熱処理式除害装置内に生成する付着物の除去方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
北谷 寿一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-198478
公開番号（公開出願番号）：特開2001-023912
出願日： 1999年07月13日
公開日（公表日）： 2001年01月26日
要約：
【要約】【課題】 熱処理式の除害装置において、二次生成物やパウダーを簡単に除去することのできる除害装置での生成付着物の除去方法を提供する。【解決手段】 燃焼式除害装置や、熱分解式除害装置等の熱処理式除害装置の運転中あるいは、運転後の停止中に、処理室内に六フッ化エタン、パーフロロプロパン、六フッ化イオウ、三フッ化窒素、フッ素、フッ素と三フッ化窒素の混合ガス、フツ化水素、三フッ化塩素、フツ化塩素、五フツ化塩素、三フッ化臭素、五フツ化臭素等のフッ素含有ガスを導入する。ガス中に存在するフッ素又は、分解により発生するフッ素の反応性を利用して、処理室及び排気系内に形成されていた付着物をガス化して除去するように構成した。
請求項（抜粋）：
熱処理式除害装置の運転中に、処理室内に六フツ化エタン、パーフロロプロパン、六フッ化イオウ、三フッ化窒素、フツ素、フツ素と三フツ化窒素の混合ガス、フッ化水素、三フッ化塩素、フッ化塩素、五フツ化塩素、三フッ化臭素、五フッ化臭素等のフッ素含有ガスを導入し、ガス中に存在するフツ素又は、分解により発生するフッ素の反応性を利用して、処理室及び排気系内に形成されていた付着物をガス化して除去するように構成した熱処理式除害装置内に生成する付着物の除去方法。
IPC (2件)：
H01L 21/22 501
, B01J 19/00
H01L 21/22 501 S
, B01J 19/00 H
4G075AA37
, 4G075AA52
, 4G075BA05
, 4G075BB02
, 4G075CA02
, 4G075CA51
, 4G075EA01
