特許
J-GLOBAL ID:200903076791869244
単結晶の製造方法および単結晶製造装置
発明者:
,
,
,
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
上島 淳一
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2006-036561
公開番号(公開出願番号):特開2007-217199
出願日: 2006年02月14日
公開日(公表日): 2007年08月30日
要約:
【課題】縦型ブリッジマン法による単結晶の結晶成長において、結晶径が大きく、かつ、結晶長が長い高品質の単結晶を、効率よく製造する。【解決手段】縦型ブリッジマン法により単結晶を製造する単結晶製造装置において、原料を配置した筒状の炉芯管と、上記炉芯管の外周側を被覆するように配置されるとともに、該被覆された領域における上記炉芯管内の温度を制御して上記炉芯管内の上記原料を熔解する熔解手段と、上記炉芯管の外周側を被覆するように配置されるとともに、該被覆された領域における上記炉芯管内の温度を制御して上記炉芯管内における上記原料の結晶化後に該結晶を凝固点よりも低い温度で保持する均熱手段とを有し、上記熔解手段と上記均熱手段とを所定の間隙を有するようにして分離して配置し、上記炉芯管の外周面において上記熔解手段と上記均熱手段とにより被覆されていない領域を形成した。【選択図】図3
請求項(抜粋):
縦型ブリッジマン法による単結晶の製造方法において、
結晶化中は固体と液体との界面近傍の温度勾配を大きくし、
結晶化が完了した後は結晶内の温度分布を均一にした状態に保った後に冷却する
ことを特徴とする単結晶の製造方法。
IPC (1件):
FI (1件):
Fターム (12件):
4G077AA02
, 4G077BD07
, 4G077CD02
, 4G077EG25
, 4G077EG26
, 4G077EH07
, 4G077FE11
, 4G077FE18
, 4G077MB04
, 4G077MB22
, 4G077MB23
, 4G077MB33
引用特許:
前のページに戻る