ハイパワーレーザにおけるイントラキャビティ及びインタキャビティ高調波発生

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：河野登夫 (外1名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-549647
公開番号（公開出願番号）：特表2001-525946
出願日： 1998年05月14日
公開日（公表日）： 2001年12月11日
要約：

【要約】誘電体コーティングミラー(10,50,52,54)付きのイントラキャビティ及び/又はインタキャビティ副共振器(10,20,22,50,52,32,54)は、レーザ放射の高効率第3(32)及びそれ以上の高次高調波の発生を達成するために、無反射及び高反射コーティングを有している。主共振器及び副共振器は、夫々基本振動及び高周波振動を強め、その結果、第3高調波(32)及びそれ以上の高い変換効率を生じさせ、このような改良レージング効率は、高い反復値で8Wを超えるUV出力パワーを達成するための、向上したパワーパフォーマンス用のハイパワーレーザで実施されて良い。イントラキャビティTHG技法の使用は、レーザ結晶のようなレーザの構造体に対する損傷を回避するために、レーザのイントラキャビティ領域で使用できる入力基本周波数の現存の高強度を使用することにより、高効率を提供する。THGはダブルパス配列及び/又はマルチパス配列を利用し、その結果、シングルパス構造に比較して出力パワーが略60%増加する。また、リターンパス内で発生するUVエネルギーの遮断は、主キャビティ内の構造体に対するUVによる損傷を排除するために実行される。

請求項（抜粋）：

第1ミラーと、レージング素子と、第1ミラーとで主キャビティを形成し、第1次高調波レーザ信号を発生する主キャビティ内にレージング素子を配置させる第2ミラーと、第1結晶と、第2ミラーとで第1キャビティを形成し、第1基本レーザ信号から第2次高調波レーザ信号を発生する第1キャビティ内に第1結晶を配置させる第3ミラーと、第2結晶と、第2ミラーとで第2キャビティを形成し、2より大きい高調波次数を有する高次高調波レーザ信号を発生する第2キャビティ内に第2結晶を配置させる第4ミラーとを備えるレーザ。

IPC (2件)：

G02F 1/37 , H01S 3/109

FI (2件)：

G02F 1/37 , H01S 3/109

引用特許：

審査官引用 (8件)

特開平2-301178
第三高調波発生装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-184861 出願人：富士通株式会社
特表平6-509445

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