特許
J-GLOBAL ID:200903076884904929

圧電振動部品およびその製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 青山 葆 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-091579
公開番号(公開出願番号):特開平11-289237
出願日: 1998年04月03日
公開日(公表日): 1999年10月19日
要約:
【要約】【課題】 高周波化に対応可能で信頼性が高く、小型で薄型の製造の容易な圧電振動部品およびその製造方法を提供する。【解決手段】 圧電基板1は、第1および第2の引出導体パターン3,3’が端部まで引き出され、振動吸収材6により形成される振動空間5を有してカバー基板4に支持されている。ベース基板8には第1および第2の端子電極11,11’が形成されている。さらに圧電基板1は、振動吸収材10により形成される振動空間9を有してベース基板8に支持され、第1および第2の引出導体パターン3,3’が第1および第2の端子電極11,11’に導電性樹脂13により電気的に接続され外装されている。製造の際して、圧電基板1はカバー基板4の母材に振動吸収材10の母材を介して接着された状態で取り扱われ、ユニットに切断された後、ベース基板母材にさらに振動吸収材を介して接着されて外装および切断される。
請求項(抜粋):
平板状の圧電基板と、平板状のカバー基板と、平板状のベース基板からなり、前記圧電基板は、第1の主面および第2の主面上に互いに対向するようにそれぞれ形成された励振電極と、これら励振電極からそれぞれ引き出されて前記圧電基板の異なる端部に到る第1および第2の引出導体パターンとを有し、前記カバー基板は、前記圧電基板の第1の主面側の圧電振動部分との間に間隙を有して前記第1の主面上の圧電振動部分周辺を保持し、前記ベース基板は、前記第1および第2の引出導体パターンの各々の端部にそれぞれ対応する位置に第1および第2の端子電極を有するとともに、前記圧電基板の第2の主面側の圧電振動部分との間に間隙を有して前記第2の主面上の圧電振動部分周辺を保持し、前記圧電基板の第1および第2の引出導体パターンの各々がそれぞれ前記ベース基板の第1および第2の端子電極の各々に電気的に接続されていることを特徴とする圧電振動部品。
IPC (5件):
H03H 9/17 ,  H03H 3/02 ,  H03H 3/08 ,  H03H 9/10 ,  H03H 9/25
FI (5件):
H03H 9/17 A ,  H03H 3/02 C ,  H03H 3/08 ,  H03H 9/10 ,  H03H 9/25 A
引用特許:
審査官引用 (6件)
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