特許
J-GLOBAL ID：200903076983300784
光ディスク基板成形用スタンパの製造装置及び製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
柏木 慎史 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-088122
公開番号（公開出願番号）：特開2001-273685
出願日： 2000年03月28日
公開日（公表日）： 2001年10月05日
要約：
【要約】【課題】 転写性と光ディスク基板成形サイクルのタクトアップとを向上させることができる光ディスク基板成形用スタンパを得る。【解決手段】 転写面パターンを備えたフォトレジスト原盤上に転写面を有するNi電鋳層を成膜形成する電鋳ユニット101を設け、Ni電鋳層上に断熱性を有する断熱材を成膜形成する断熱材成形ユニット106を設け、これらの電鋳ユニット101と断熱材成形ユニット106とによって断熱材が形成された光ディスク基板成形用スタンパを製造する。このような断熱層を用いて金型のキャビティに溶融樹脂を射出充填すると、断熱層の断熱作用により、溶融樹脂充填後、従来より低温金型を用いても、スタンパに接触する樹脂温度が高くなることにより、充分な転写性が得られる。したがって、高温の転写温度によって転写性を良好に維持することができ、かつ、低い金型温度により光ディスク基板成形サイクルのタクトアップを図ることができる。
請求項（抜粋）：
転写面パターンを備えたフォトレジスト原盤上に前記転写面パターンを写した転写面を有するNi電鋳層を成膜形成する電鋳ユニットと、前記Ni電鋳層上に断熱性を有する断熱材を成膜形成する断熱材成形ユニットと、を具備する光ディスク基板成形用スタンパの製造装置。
IPC (3件)：
G11B 7/26 511
, B29C 45/26
, B29L 17:00
G11B 7/26 511
, B29C 45/26
, B29L 17:00
4F202AH79
, 4F202CA11
, 4F202CB01
, 4F202CD02
, 4F202CD12
, 4F202CD22
, 4F202CD24
, 5D121CB01
, 5D121CB07
, 5D121CB09
