特許
J-GLOBAL ID：200903077020689143

スピンコート法による薄膜の形成装置及び形成方法

発明者：
濱口 滋生

濱口 滋生 について

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赤松 佳則

赤松 佳則 について

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坪内 一男

坪内 一男 について


出願人/特許権者：
セントラル硝子株式会社

セントラル硝子株式会社 について


代理人 (1件)： 西 義之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-045167
公開番号（公開出願番号）：特開2000-237669
出願日： 1999年02月23日
公開日（公表日）： 2000年09月05日
要約：
【要約】【課題】ゾルゲル法等の塗布液を、スピンコート法により、車両用窓等の大サイズのガラス基板へ、均一な膜厚で塗布する。【解決手段】スピンコート法により基板上面に薄膜を形成する方法において、略水平姿勢で回転する基板の上面中心部付近に塗布液を滴下させるとともに、基板のスピン回転により描く円の接線方向かつ回転方向になるように設けた排気口から基板周辺の雰囲気ガスを吸引排気し、基板の回転により発生する乱気流を抑制し、基板上面に均一な薄膜を形成、かつ基板下面への塗布液の裏まわりによる付着を防止する。
請求項（抜粋）：
スピンコート法により基板上面に薄膜を形成する装置において、上部側に開口部を有し、基板を水平姿勢で収納可能な略円筒形状の本体容器部等からなる塗布容器と、前記本体容器部内の基板支持体上に基板を載置し、かつ基板の下面を吸着固定する吸着パッドを有する支持手段と、前記基板を支持固定する支持手段を水平回転させる回転手段と、上部より塗布液と雰囲気ガスを取り込み、本体容器部内に載置した基板上面に塗布液を滴下させる塗布液供給手段と、前記塗布容器内の周囲側面部に、塗布容器内の雰囲気ガスを排出させる排気手段とからなり、該排気手段の排気ダクトの排気口は、排気の方向が、塗布容器の外周の相対向する少なくとも2方向であり、基板のスピン回転により描く円の接線方向かつ回転方向になるように設置し、乱気流の発生を抑制し、基板上に均一な薄膜を形成させるようにしたことを特徴とするスピンコート法による薄膜の形成装置。
IPC (5件)：
B05C 11/08 ,  B05D 1/40 ,  C03C 17/25 ,  G03F 7/16 502 ,  H01L 21/027
FI (5件)：
B05C 11/08 ,  B05D 1/40 A ,  C03C 17/25 B ,  G03F 7/16 502 ,  H01L 21/30 564 C
Fターム (18件)：
2H025AA18 ,  2H025BJ00 ,  2H025DA19 ,  2H025EA05 ,  4D075AC64 ,  4D075DA08 ,  4D075DB13 ,  4D075DC22 ,  4F042AA07 ,  4F042EB24 ,  4F042EB28 ,  4G059AA01 ,  4G059AC03 ,  4G059AC22 ,  4G059EA04 ,  4G059EA05 ,  4G059EB07 ,  5F046JA08
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (3件)

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