特許
J-GLOBAL ID:200903077096318969
スピン・バルブ・センサの磁気抵抗を増加させるための酸化ニッケル・ピニング層用のシード層
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
坂口 博 (外2名)
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-587327
公開番号(公開出願番号):特表2002-532815
出願日: 1999年11月26日
公開日(公表日): 2002年10月02日
要約:
【要約】【課題】 センサの磁気抵抗(dR/R)を高める目的で、酸化ニッケル(NiO)反強磁性ピニング層用のシード層を使用する底部スピン・バルブ・センサを提供すること。【解決手段】 スピン・バルブ・センサは簡単なスピン・バルブまたは、逆平行(AP)スピン・バルブ・センサとすることができる。好ましい実施形態では、シード層は酸化タンタルTayOxまたは銅(Cu)である。
請求項(抜粋):
酸化ニッケル(NiO)の反強磁性ピニング層と、 非磁性導電性スペーサ層と、 強磁性自由層とを含み、 前記スペーサ層が、前記ピニング層と前記自由層との間に挟まれ、かつそれらに界接して係合し、さらに、 酸化タンタルまたは銅のシード層とを含み、 前記ピニング層が前記シード層とピンド層との間に挟まれ、前記シード層が前記ピニング層に界接して係合する、空気ベアリング面(ABS)を有するスピン・バルブ・センサ。
IPC (7件):
G11B 5/39
, G01R 33/09
, H01F 10/14
, H01F 10/30
, H01F 10/32
, H01L 43/08
, H01L 43/12
FI (7件):
G11B 5/39
, H01F 10/14
, H01F 10/30
, H01F 10/32
, H01L 43/08 Z
, H01L 43/12
, G01R 33/06 R
Fターム (17件):
2G017AA10
, 2G017AD54
, 5D034BA03
, 5D034BA04
, 5D034BA05
, 5D034BA21
, 5D034BB12
, 5D034CA08
, 5D034DA07
, 5E049AA07
, 5E049AC05
, 5E049BA12
, 5E049BA16
, 5E049CB02
, 5E049DB12
, 5E049GC06
, 5E049GC08
引用特許: