特許
J-GLOBAL ID：200903077186204580

インプリント方法及びインプリント装置、インプリント方法を用いた部材の製造方法

発明者：
奥島 真吾

奥島 真吾 について

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関 淳一

関 淳一 について

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末平 信人

末平 信人 について

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春見 和之

春見 和之 について


出願人/特許権者：
キヤノン株式会社

キヤノン株式会社 について


代理人 (1件)： 長尾 達也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-024802
公開番号（公開出願番号）：特開2008-244441
出願日： 2008年02月05日
公開日（公表日）： 2008年10月09日
要約：
【課題】インプリントプロセスにおけるアライメントに関する制御条件を工夫し、より好適なアライメント制御が可能となるインプリント方法等を提供する。【解決手段】基板上のパターン形成層に、モールドが有するインプリントパターンをインプリントするインプリント方法である。そして、前記モールドと前記樹脂との接触時に発生する前記位置合わせ制御の誤動作を防止するために、前記位置合わせ制御を停止させるステップを有するか、あるいは、前記位置合わせ制御を行なうための前記ステージの制御方法、駆動プロファイル、あるいは制御パラメータの少なくとも一つを変更するステップを有する構成とする。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
基板上のパターン形成層に、モールドが有するインプリントパターンをインプリントするインプリント方法であって、 位置合わせ制御を行いながら前記基板と前記モールドの位置合わせを行う第1のステップと、 前記モールドと前記パターン形成層とを接触させるための第2のステップと、 前記パターン形成層を硬化させるための第3のステップと、 前記基板と前記モールドとの間隙を大きくするための第4のステップとを備え、 前記モールドと前記樹脂との接触時に発生する前記位置合わせ制御の誤動作を防止するために、 前記第1のステップと第2のステップとの間、あるいは前記第2のステップと第3のステップとの間の少なくとも一方において、前記位置合わせ制御を停止させるステップを有するか、あるいは、 前記第1のステップと第2のステップとの間、あるいは前記第2のステップと第3のステップとの間の少なくとも一方において、前記位置合わせ制御を行なうための前記ステージの制御方法、駆動プロファイル、あるいは制御パラメータの少なくとも一つを変更するステップを有する ことを特徴とするインプリント方法。
IPC (2件)：
H01L 21/027 ,  B29C 59/02
FI (3件)：
H01L21/30 502D ,  H01L21/30 525X ,  B29C59/02 Z
Fターム (19件)：
4F209AF01 ,  4F209AG05 ,  4F209AQ00 ,  4F209AR07 ,  4F209PA02 ,  4F209PB01 ,  4F209PN06 ,  4F209PN13 ,  4F209PQ11 ,  5F046AA28 ,  5F046BA10 ,  5F046CA02 ,  5F046CC01 ,  5F046DB03 ,  5F046DB05 ,  5F046DC12 ,  5F046ED01 ,  5F046FA10 ,  5F046FC04
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (4件)
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