特許
J-GLOBAL ID：200903077273645762

機能素子及びそれに用いられるネガ型感光性樹脂組成物並びに機能素子の製造方法

発明者：
梅山 智江

梅山 智江 について

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川田 義浩

川田 義浩 について

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宮川 直房

宮川 直房 について


出願人/特許権者：
日本化薬株式会社

日本化薬株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-057895
公開番号（公開出願番号）：特開2009-216790
出願日： 2008年03月07日
公開日（公表日）： 2009年09月24日
要約：
【課題】対向配置される2つの基板をネガ型感光性樹脂組成物から得られた構造体を介して接着させた機能素子において、残渣やスカムが発生しにくく、優れたパタ-ン解像性を有し、且つ対向基板との接着性にも優れたネガ型感光性樹脂組成物を提供することを目的とする。【解決手段】第1の基板上にフォトリソグラフにより設けられたパタ-ン化された構造体を介して、第2の基板を圧着させて2個の基板を接着させた機能素子において、前記構造体を形成する為の樹脂組成物が(A)アクリルモノマ-、(B)ヒドロキシスチレン類とスチレン類を必須成分として共重合させて得られたアルカリ可溶性フェノ-ル樹脂、(C)光重合開始剤及び(D)エポキシ化合物を含有するネガ型感光性樹脂組成物であることを特徴とする前記機能素子。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
第1の基板上にフォトリソグラフにより設けられたパタ-ン化された構造体を介して、第2の基板を圧着させて2個の基板を接着させた機能素子において、前記構造体を形成する為の樹脂組成物が(A)アクリルモノマ-、(B)ヒドロキシスチレン類とスチレン類を必須成分として共重合させて得られたアルカリ可溶性フェノ-ル樹脂、(C)光重合開始剤及び(D)エポキシ化合物を含有するネガ型感光性樹脂組成物であることを特徴とする前記機能素子。
IPC (5件)：
G02F 1/133 ,  G03F 7/027 ,  G03F 7/033 ,  G03F 7/004 ,  H01L 21/027
FI (5件)：
G02F1/1339 500 ,  G03F7/027 ,  G03F7/033 ,  G03F7/004 501 ,  H01L21/30 502R
Fターム (28件)：
2H025AA02 ,  2H025AA04 ,  2H025AA10 ,  2H025AA14 ,  2H025AB14 ,  2H025AB17 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC43 ,  2H025CA02 ,  2H025CA03 ,  2H025CA27 ,  2H025CA30 ,  2H025CB16 ,  2H025CB17 ,  2H025CC04 ,  2H025CC17 ,  2H025CC20 ,  2H025FA17 ,  2H189DA07 ,  2H189EA04X ,  2H189EA06X ,  2H189FA16 ,  2H189FA25 ,  2H189GA14 ,  2H189HA14 ,  2H189HA16 ,  2H189LA01
引用特許：
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (4件)
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