特許
J-GLOBAL ID：200903077288938227
極端紫外光源装置
発明者：
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出願人/特許権者：
,
代理人 (3件)：
宇都宮 正明
, 渡部 温
, 柳瀬 睦肇
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-214482
公開番号（公開出願番号）：特開2008-041436
出願日： 2006年08月07日
公開日（公表日）： 2008年02月21日
要約：
【課題】ターゲットの軌道を擾乱させることなく、ドロップレットターゲットをレーザ照射位置に高速に供給する機構と、プラズマから発生したイオン(帯電したデブリ)を磁場の作用によりトラップする機構とを両立させる。【解決手段】予め設定されているプラズマ発光点に向けてターゲット物質を噴射するターゲットノズル12と、該ターゲットノズルから噴射されるターゲット物質を帯電させる電荷供給装置17と、該電荷供給装置によって帯電させられるターゲット物質を加速する加速装置18と、プラズマ発光点においてターゲット物質にレーザビームを照射することによりプラズマを生成するレーザ発振器13と、プラズマ発光点に磁場を形成する電磁石であって、ターゲット物質の軌道において、磁束線が略直線状且つターゲット物質の進入方向に対して略平行となる磁場を形成する電磁石19a及び19bとを有する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
レーザ光源から出力されたレーザ光をターゲット物質に照射することにより、前記ターゲット物質をプラズマ化して極端紫外光を放射させる極端紫外光源装置であって、
予め設定されているプラズマ発光点に向けてターゲット物質を噴射するターゲットノズルと、
前記ターゲットノズルから噴射されるターゲット物質を帯電させる電荷供給装置と、
前記電荷供給装置によって帯電させられるターゲット物質を加速する加速装置と、
前記プラズマ発光点において前記ターゲット物質にレーザビームを照射することによりプラズマを生成するレーザ発振器と、
前記プラズマ発光点に磁場を形成する磁場形成手段であって、前記ターゲット物質の軌道において、磁束線が略直線状且つ前記ターゲット物質の進入方向に対して略平行となる磁場を形成する前記磁場形成手段と、
を具備する極端紫外光源装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H05G1/00 K
, H01L21/30 531S
4C092AA06
, 4C092AA10
, 4C092AA14
, 4C092AA15
, 4C092AA17
, 4C092AB19
, 4C092AC09
, 4C092BD18
, 5F046GC03
出願人引用 (2件)
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極端紫外光源装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願2002-103975
出願人：ギガフォトン株式会社
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米国特許US6,987,279B2(第1頁)
審査官引用 (8件)
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