特許
J-GLOBAL ID：200903077378976489

薄膜弾性表面波デバイス

発明者：
古畑 誠

古畑 誠 について

, 
矢島 有継

矢島 有継 について


出願人/特許権者：
セイコーエプソン株式会社

セイコーエプソン株式会社 について


代理人 (3件)： 上柳 雅誉 ,  藤綱 英吉 ,  須澤 修
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-245357
公開番号（公開出願番号）：特開2007-060465
出願日： 2005年08月26日
公開日（公表日）： 2007年03月08日
要約：
【課題】 複数の励振電極を有する薄膜弾性表面波デバイスであっても、従来の単数の励振電極を有する薄膜弾性表面波デバイスと比べ体積を小さくすることが可能な薄膜弾性表面波デバイスを提供する。【解決手段】 本発明の薄膜弾性表面波デバイス10は、基板11,20の一面に形成された圧電体薄膜12,21と、圧電体薄膜12,21上に形成された弾性表面波を励振させる励振電極19,22とを有する複数の薄膜弾性表面波素子5,6と、薄膜弾性表面波素子6の、圧電体薄膜12が形成された一面と異なる面の基板11の他面に形成された外部接続電極26と、を有し、薄膜弾性表面波素子5,6は、互いの励振電極19,22が空隙を有して対向し、密閉されるように形成された接合部25によって接合されている。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
空隙を有して対向するそれぞれの励振電極が密閉されるように形成された接合部によって接合されている複数の薄膜弾性表面波素子を有し、 前記複数の薄膜弾性表面波素子は、それぞれ、 基板と、前記基板の少なくとも一面に形成された圧電体薄膜と、前記圧電体薄膜上に形成された弾性表面波を励振させる前記励振電極と、を有し、 前記複数の薄膜弾性表面波素子のうち、少なくとも一つの薄膜弾性表面波素子は、 前記圧電体薄膜が形成された一面と異なる他面に形成された接続電極、を有していることを特徴とする薄膜弾性表面波デバイス。
IPC (1件)：
H03H 9/25
FI (1件)：
H03H9/25 A
Fターム (8件)：
5J097AA29 ,  5J097BB01 ,  5J097BB11 ,  5J097HA04 ,  5J097JJ06 ,  5J097JJ09 ,  5J097KK10 ,  5J097LL08
引用特許：
出願人引用 (1件)
  • 圧電振動子発振器
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-319052   出願人：日本電気株式会社
審査官引用 (2件)

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