特許

J-GLOBAL ID：200903077423010060

マニピュレータおよびそれを用いたプローブ装置、試料作製装置

発明者： 松島 勝 ,  梅村 馨 ,  富松 聡 ,  小池 英巳
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-056602
公開番号（公開出願番号）：特開2000-251820
出願日： 1999年03月04日
公開日（公表日）： 2000年09月14日
要約：

【要約】【課題】真空装置内でプローブを操作するマニピュレータにおいて、プローブ交換時における装置の停止時間を短縮し、装置稼働率を向上させるマニピュレータを提供する。【解決手段】装置本体の真空チャンバからプローブを出し入れする際に、真空チャンバ1を大気開放することなく行える真空導入機構を設ける。具体的には、真空チャンバ1にエアロック室3を設け、このエアロック室3を、本体の真空チャンバ1と真空ベローズ2で接続する。エアロック室3にはプローブホルダ5を取り付け、本体に設けた移動機構7によりエアロック室3ごとプローブ4を移動する。エアロック室3は排気ポート9から真空排気を可能とし、エアロック室3と真空チャンバ1の間を真空バルブ8で仕切る。プローブ4はエアロック室3と真空チャンバ1の間を移動できるよう、第二の移動機構10を設ける。

請求項（抜粋）：

針状部材と、該針状部材を真空容器内で移動させるための移動手段からなるマニピュレータであって、該針状部材は、該真空容器を大気開放することなしに、該真空容器からの出し入れを可能とする真空導入手段を具備することを特徴とするマニピュレータ。

IPC (6件)：

H01J 37/20 ,  B25J 7/00 ,  G01N 1/28 ,  G01N 1/32 ,  G01R 1/06 ,  G01R 31/28

FI (6件)：

H01J 37/20 Z ,  B25J 7/00 ,  G01N 1/32 B ,  G01R 1/06 E ,  G01N 1/28 G ,  G01R 31/28 K

Fターム (36件)：

2G011AA02 ,  2G011AA12 ,  2G011AB01 ,  2G011AC01 ,  2G011AC02 ,  2G011AC06 ,  2G011AC12 ,  2G011AC21 ,  2G011AE03 ,  2G011AF06 ,  2G032AF02 ,  2G032AF04 ,  2G032AF05 ,  2G032AF08 ,  2G032AG01 ,  2G032AH07 ,  2G032AK03 ,  2G032AL02 ,  3F060AA00 ,  3F060AA09 ,  3F060BA10 ,  3F060EB05 ,  3F060GA01 ,  3F060GA11 ,  3F060HA00 ,  5C001AA01 ,  5C001AA03 ,  5C001AA04 ,  5C001BB07 ,  5C001CC04 ,  5C001CC07 ,  9A001BB05 ,  9A001BB06 ,  9A001KK54 ,  9A001LL05 ,  9A001LL08

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 熱電子によるクリーニング装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-033575   出願人：日本電子株式会社
• 特開平3-074036
  
• 試料の分離方法及びこの分離方法で得た分離試料の分析方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-210803   出願人：株式会社日立製作所
• マニピュレータおよびそれを用いたプローブ装置、試料作製装置、試料観察装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-326326   出願人：株式会社日立製作所