特許
J-GLOBAL ID：200903077464387330
インクジェットヘッド
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴木 喜三郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-193136
公開番号（公開出願番号）：特開2001-018383
出願日： 1999年07月07日
公開日（公表日）： 2001年01月23日
要約：
【要約】【課題】 小型化、高密度化を達成可能な静電駆動式のインクジェットヘッドを提案する。【解決手段】 インクジェットヘッド1は、流路基板2とアクチュエータ基板3を接合して構成される。流路基板2には、インク流路を形成するためのノズル溝4a、インク圧力室形成用の溝11a、オリフィス形成用の溝12a、共通インク室用の溝13aが異方性エッチングにより形成され、アクチュエータ基板3には、個別電極15と、犠牲層エッチングによる振動板13が形成されている。流路基板2に振動板を形成する必要がないので、各溝の深さを任意に決めることができる。溝を浅くすることにより、隣接するインク流路を仕切っている隔壁を低くし、その剛性を充分なものにして、圧力干渉を防止できる。よって、かかる弊害を伴うことなくインクジェットヘッドの小型化、高密度化を達成できる。
請求項（抜粋）：
インク圧力室と、このインク圧力室に連通しているインクノズルと、前記インク圧力室の一部を形成している共通電極としての振動板と、この振動板に対して空隙部を介して対峙している個別電極とを有する静電駆動式のインクジェットヘッドにおいて、第1および第2の基板を有し、前記第1の基板の表面には、前記個別電極と、犠牲層エッチングにより形成された前記空隙部を介して当該個別電極に対峙している前記振動板とが形成されており、前記第2の基板の表面には、前記インク圧力室を形成するためのインク圧力室用の溝部が形成されており、前記第1および第2の基板を接合することにより、前記第2の基板の表面に形成された前記インク圧力室用の溝部が前記第1の基板によって閉溝されて、前記インク室が形成されていることを特徴とするインクジェットヘッド。
IPC (2件)：
Fターム (14件)：
2C057AF34
, 2C057AF37
, 2C057AF40
, 2C057AG12
, 2C057AG52
, 2C057AG53
, 2C057AG54
, 2C057AP02
, 2C057AP11
, 2C057AP33
, 2C057AP51
, 2C057AP54
, 2C057BA05
, 2C057BA15
