コンパクトな分光エリプソメータ

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：筒井大和 , 小塚善高
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-512640
公開番号（公開出願番号）：特表2004-504590
出願日： 2001年07月16日
公開日（公表日）： 2004年02月12日
要約：

【課題】エリプソメータを更に改良する。【解決手段】ビーム4を放射する光源2と、ビーム4を偏光し、少なくとも選択角度に従ってサンプル16を照射する偏光入射ビーム12を生成する偏光子10と、照射されたサンプル16で反射されるビーム20を受け取り、反射ビーム20に応答して出力ビーム28を生成するアナライザ24と、光源2とサンプル16の間及び/又はサンプル16とセンサの間に配置され、選択スポットに従って入射及び/又は反射ビーム12,20を集光する少なくとも反射光学要素14とを備える分光エリプソメータに関する。それは更に、サンプル16とセンサの間及び/又は光源2とサンプル16の間に配置されて反射及び/又は入射ビームを集光及び集束する少なくとも第1屈折要素22を備え、それによりサンプル16の一方側に少なくとも屈折及び反射要素22,14を提供でき、スポットに対して同じ側に光源とセンサを配置できる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

広帯域ビーム(4)を放射可能な光源(2)と、前記広帯域ビーム(4)を偏光し、少なくとも1つの選択された入射角に従ってサンプル(16)を照射可能な偏光入射ビーム(12)を生成する偏光子(10)と、このように照射されたサ前記ンプル(16)によって反射されるビーム(20)を受け取り、この反射ビーム(20)に応答して出力ビーム(28)を生成するアナライザ(24)と、前記出力ビームを出力信号に変換するための検出器と、前記出力信号を処理し、前記サンプル(16)での前記偏光入射ビーム(12)の反射によって引き起こされた前記出力ビームの偏光状態における位相変化および振幅変化を決定するための処理手段と、前記光源(2)と前記サンプル(16)との間および/または前記サンプル(16)と前記検出器との間に配置され、選択されたスポットに従って前記入射ビーム(12)および/または前記反射ビーム(20)を集光可能である少なくとも1つの反射光学要素(14)とを備えるタイプの分光エリプソメータであって、前記分光エリプソメータが、前記反射ビームおよび/または前記入射ビームを集光および集束するために、前記サンプル(16)と前記検出器との間および/または前記光源(2)と前記サンプル(16)との間に配置される少なくとも1つの第1屈折光学要素(22)をさらに備え、それによって少なくとも1つの屈折光学要素(22)と少なくとも1つの反射要素(14)とを前記サンプル(16)の何れかの側に配置可能であり、前記スポットに対して同じ側に配置される前記光源および前記検出器を設置可能であることを特徴とする分光エリプソメータ。

IPC (2件)：

G01J3/447 , G01J4/04

FI (2件)：

G01J3/447 , G01J4/04 Z

Fターム (11件)：

2G020AA03 , 2G020AA04 , 2G020AA05 , 2G020BA18 , 2G020CA15 , 2G020CB04 , 2G020CB32 , 2G020CB42 , 2G020CC29 , 2G020CC49 , 2G020CD15

引用特許：

審査官引用 (8件)

フーリエ変換分光位相変調偏光解析法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-147411 出願人：日本電子株式会社
光学システムのスポットサイズの減縮および他の応用に有益なアポディゼーションフィルタシステム
公報種別：公表公報出願番号：特願平10-543084 出願人：ケーエルエー-テンカーコーポレイション
軸外球面鏡と屈折素子を用いる分光計測システム
公報種別：公表公報出願番号：特願2000-542645 出願人：ケーエルエー-テンカーコーポレイション

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