光-磁気光学効果測定装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者： , ,
代理人 (1件)：岡田英彦 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-264510
公開番号（公開出願番号）：特開平11-101738
出願日： 1997年09月29日
公開日（公表日）： 1999年04月13日
要約：

【要約】【課題】波長200nm以下の短波長光による光-磁気光学効果の測定を可能とする光-磁気光学効果測定装置を提供すること。【解決手段】上記課題を解決する本発明の光-磁気光学効果測定装置は、光源部101から分光器120、光学系ボックス165、および電磁石172に近接して装着された試料ホルダ174を経て光検出器に至る波長200nm以下の短波長光の光路が密閉可能な容器106,142,166,170内に確保されており、その容器106,142,166,170内のガスを排出するための排気手段として制御バルブ113,116および排気管114,115を備えており、光-磁気光学効果測定の際には該光路を真空状態下におくことが実現されることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

光源部と、その光源部からの光を分光して必要な波長の光をとりだす分光器と、その分光器でとりだされた光を偏光する第1の偏光子と、試料に磁場を印加する手段を備えた試料保持部と、該第1の偏光子から該試料保持部に装着された試料に照射された光であって該試料を透過した光または該試料で反射した光を通す第2の偏光子と、その第2の偏光子を通過した光の強度を検出する光検出器とを備えた光-磁気光学効果測定装置において、その光源部は波長200nm以下の短波長光を放射し得るように構成されており、該光源部から該光検出器に至る該短波長光の光路は該試料保持部とともに密閉可能な容器内に収容されており、該容器は該容器内のガスを排出するための排気手段を備えており、光-磁気光学効果測定の際には該光路を真空状態下におくことが実現されることを特徴とする光-磁気光学効果測定装置。

引用特許：

審査官引用 (6件)

微小真空紫外分光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-060441 出願人：日本電気株式会社
反射率測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-087636 出願人：株式会社ニコン
真空紫外域の光学装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-154812 出願人：株式会社ニコン

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