X線分析装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：杉本修司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-329633
公開番号（公開出願番号）：特開平9-145642
出願日： 1995年11月24日
公開日（公表日）： 1997年06月06日
要約：

【要約】【課題】単色化され、かつ線束の単位幅あたりのX線強度を増大させた平行X線を試料に照射するX線分析装置を提供する。【解決手段】 X線7を発生するX線源6と、そのX線源6から発生したX線7が入射され、平行性が増した平行X線9を出射する曲面8aを有する全反射ミラー8と、前記平行X線9が入射され、線束の単位幅あたりのX線強度が増大した分光X線10を出射する非対称分光素子1と、前記分光X線10を1次X線10として照射された試料12から発生する2次X線13が入射される検出器14とを備えたX線分析装置。

請求項（抜粋）：

X線を発生するX線源と、そのX線源から発生したX線が入射され平行X線を出射する曲面を有する全反射ミラーと、前記平行X線が入射され、線束の単位幅あたりのX線強度が増大した分光X線を出射する非対称分光素子と、前記分光X線を1次X線として照射された試料から発生する2次X線が入射される検出器とを備え、前記平行X線は、その平行性が、少なくとも前記非対称分光素子において線束の幅が減少させられる方向に関して、前記X線源から発生したX線よりも、増したものであるX線分析装置。

IPC (2件)：

G01N 23/22 , G01N 23/223

FI (2件)：

G01N 23/22 , G01N 23/223

引用特許：

審査官引用 (5件)

X線分光器およびX線分光素子
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-240739 出願人：理学電機工業株式会社
特開平1-301153
X線照射装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-333868 出願人：松下電器産業株式会社

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