特許
J-GLOBAL ID：200903077576287133

有機EL素子の製造装置並びに有機EL素子

発明者：
鎌田 英樹

鎌田 英樹 について

, 
松本 栄一

松本 栄一 について


出願人/特許権者：
トッキ株式会社

トッキ株式会社 について


代理人 (2件)： 吉井 剛 ,  吉井 雅栄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-346970
公開番号（公開出願番号）：特開2006-066364
出願日： 2004年11月30日
公開日（公表日）： 2006年03月09日
要約：
【課題】 OLED表示パネルのダウンサイズ化を図れると共に高信頼性を確保でき、しかも装置の稼働率の向上を図れ、ランニングコストも削減できる極めて実用性に秀れた有機EL素子の製造装置並びに有機EL素子を提供することである。【解決手段】 基板11上に陽極,有機発光層,陰極を順次積層して形成される発光部12上に、この発光部12を封止する封止膜13を形成して成る有機EL素子の製造装置であって、前記封止膜13を基板11の略全面に積層成膜する封止膜形成機構と、陽極若しくは陰極の端子部14上に積層された複数の有機膜から成るまたは一若しくは複数の有機膜と無機膜とを積層して成る封止膜13の一部若しくは全部にレーザー光を照射して、この端子部14上の封止膜13を除去することで、前記端子部14を露出せしめる給電用開口部15を形成する封止膜除去機構とを備えたものである。【選択図】 図4
請求項（抜粋）：
基板上に陽極,有機発光層,陰極を順次積層して形成される発光部上に、この発光部を封止する封止膜を形成して成る有機EL素子の製造装置であって、前記封止膜を基板の略全面に積層成膜する封止膜形成機構と、陽極若しくは陰極の端子部上に積層された複数の有機膜から成るまたは一若しくは複数の有機膜と無機膜とを積層して成る封止膜の一部若しくは全部にレーザー光を照射して、この端子部上の封止膜を除去することで、前記端子部を露出せしめる給電用開口部を形成する封止膜除去機構とを備えたことを特徴とする有機EL素子の製造装置。
IPC (4件)：
H05B 33/10 ,  H05B 33/04 ,  H05B 33/06 ,  H01L 51/50
FI (4件)：
H05B33/10 ,  H05B33/04 ,  H05B33/06 ,  H05B33/14 A
Fターム (6件)：
3K007AB13 ,  3K007AB18 ,  3K007BB02 ,  3K007CC05 ,  3K007DB03 ,  3K007FA02
引用特許：
審査官引用 (3件)
  • 有機電界発光パネルの製造方法
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-331418   出願人：三洋電機株式会社
  • 発光装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-137219   出願人：株式会社半導体エネルギー研究所
  • 表示装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-078476   出願人：株式会社デンソー

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