ケミカルクリーンストッカ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：志賀正武 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-144792
公開番号（公開出願番号）：特開平11-340109
出願日： 1998年05月26日
公開日（公表日）： 1999年12月10日
要約：

【要約】【課題】ケミカルクリーンストッカにおけるケミカルフィルタの交換作業を容易に行う。【解決手段】クリーンストッカ本体21と、それとは別置きされてサプライダクト23により接続されるケミカルフィルタユニット22から構成される。クリーンストッカ本体は、気密保持可能なケーシング1内に、収納品の保管棚と、スタッカと、送風機と、微粒子除去用のHEPAあるいはULPAフィルタを備える。ケミカルフィルタユニットは、サプライダクトを通してクリーンストッカ本体に対して空気を供給する送風機と、ケミカル物質を吸着除去するケミカルフィルタとを備える。クリーンストッカ本体から空気をリタンダクト24を通してケミカルフィルタユニットに戻して循環させる。クリーンストッカ本体内を正圧に維持するための加圧用空気をケミカルフィルタユニットに導入する構成とする。

請求項（抜粋）：

クリーンストッカ本体と、該クリーンストッカ本体と別置きされて該クリーンストッカ本体にサプライダクトにより接続されるケミカルフィルタユニットから構成され、前記クリーンストッカ本体は、気密保持可能なケーシング内に、収納品を保管するための保管棚と、収納品を所定の保管棚に自動的に出し入れするためのスタッカと、ケーシング内において空気を循環させる送風機と、該送風機による循環空気中の微粒子を除去するフィルタとを備え、前記ケミカルフィルタユニットは、前記サプライダクトを通して前記クリーンストッカ本体に対して空気を供給する送風機と、該空気中のケミカル物質を吸着除去するケミカルフィルタとを備えてなることを特徴とするケミカルクリーンストッカ。

IPC (3件)：

H01L 21/02 , B01D 53/04 , H01L 21/68

FI (3件)：

H01L 21/02 D , B01D 53/04 A , H01L 21/68 A

引用特許：

審査官引用 (4件)

半導体ウエハ保管システムおよびそのシステムを使用した半導体装置の製造方式
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-314068 出願人：三菱電機株式会社
特開平2-126912
空調装置及びそれを備えた露光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-073776 出願人：株式会社ニコン

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