特許
J-GLOBAL ID:200903077635282655

光センサユニット

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 香取 孝雄
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-252902
公開番号(公開出願番号):特開2004-093257
出願日: 2002年08月30日
公開日(公表日): 2004年03月25日
要約:
【課題】電気的なノイズの影響を受けない光センサユニットを提供する。【解決手段】光センサユニットのセンサ筐体20の外部側面には高周波コネクタ22、24が取り付けられ、センサ筐体20の内部には金属板26が固定されてその両端が高周波コネクタ22、24の内部導体に接続されている。金属板26の上面には、全反射ミラー32、電流センサ34および全反射ミラー36からなる高周波電流を測定する電流センサと全反射ミラー44、電圧センサ46および全反射ミラー48からなる高周波電圧を測定する電圧センサとが固定されており、電圧センサ46の上面にはセンサ筐体20に接続されている電極58が設けられている。そして、外部からレーザ光を光ファイバ38、50を介して全反射ミラー32、44に入射し、全反射ミラー36、48から出射される信号光を光ファイバ40、52を介して外部に取り出す。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
高周波を伝播させる伝送路と、 前記高周波の磁界に応じて入射光の光強度が変化する光信号を生成する電流センサ部と、 前記高周波の電界に応じて入射光の光強度が変化する光信号を生成する電圧センサ部と、 外部からの光を前記電流センサ部に入射する第1の光ファイバと、 外部からの光を前記電圧センサ部に入射する第2の光ファイバと、 前記電流センサ部で生成された光信号を外部に出射する第3の光ファイバと、 前記電圧センサ部で生成された光信号を外部に出射する第4の光ファイバとを含むことを特徴とする光センサユニット。
IPC (2件):
G01R15/24 ,  H01L31/02
FI (2件):
G01R15/07 C ,  H01L31/02 B
Fターム (10件):
2G025AA17 ,  2G025AB11 ,  2G025AC06 ,  5F088AA20 ,  5F088BA02 ,  5F088BA20 ,  5F088BB10 ,  5F088JA14 ,  5F088KA10 ,  5F088LA01
引用特許:
審査官引用 (8件)
  • 高周波電源装置及びレーザ発振装置
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平6-014199   出願人:株式会社東芝
  • 光センサ
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平7-200007   出願人:松下電器産業株式会社
  • 特開平1-270679
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